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超高真空雙傾角室蒸發(fā)設(shè)備
技術(shù)參數(shù) ：
1、UHV超高真空腔體：2腔室，負(fù)荷鎖和蒸發(fā)，負(fù)荷鎖極限真空 極限壓力<1E-8 Torr，可加熱RT-900oC
2、蒸發(fā)腔：極限真空 極限壓力<3e-9 Torr
3、高分辨率鍍膜速率顯示及控制 ：±0.015，?100mm鍍膜均一性<3%
4、基板操控能力：可實(shí)現(xiàn)180度傾斜及360度旋轉(zhuǎn)，0.1度的精準(zhǔn)控制，加熱RT-600oC
5、傳輸 ：全自動樣品傳輸
廈門韞茂科技有限公司憑借在先進(jìn)材料設(shè)備業(yè)務(wù)方面多年的經(jīng)驗(yàn)，韞茂為新型芯片，半導(dǎo)體和鋰電池領(lǐng)域的新材料開發(fā)和生產(chǎn)，提供專業(yè)的納米工藝設(shè)備和服務(wù)解決方案。根據(jù)您的特殊需求，我們?yōu)槟ㄖ拼蛟靹?chuàng)新納米加工平臺，保證高品質(zhì)的設(shè)計(jì)，多功能，易于使用的界面，嚴(yán)格的安全控制，以及快速的交付和服務(wù)。
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