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MicroMaster 激光直寫光刻機(jī)
MicroMaster 是一款多功能的紫外激光寫入器，具有高精度的組件，專為用戶在感光層上設(shè)計(jì)創(chuàng)建**自由度的微結(jié)構(gòu)。MicroMaster 是一個(gè)完整的操作系統(tǒng)。它擁有405納米波長光學(xué)模塊，能夠在光阻層中寫入*小0.8微米的結(jié)構(gòu)。這個(gè)用戶友好的工具支持高達(dá)4095級(jí)的灰度或純二進(jìn)制模式，并允許3D光學(xué)結(jié)構(gòu)，表面結(jié)構(gòu)以及掩模項(xiàng)目。 激光控制的實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦和激光強(qiáng)度控制，確保整個(gè)曝光過程中的高質(zhì)量成像。MicroMaster 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻， LED芯片， 微流控芯片， 微納結(jié)構(gòu)， 灰度光刻， 三維加工， 全息影像等多個(gè)領(lǐng)域。
MicroMaster 無掩模激光直寫系統(tǒng)性能規(guī)格
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