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一、概述

SR-M 針對特定微小區(qū)域，可提供微米級的聚焦光斑，同時利用顯微物鏡定位測量點(diǎn)，從而獲取精準(zhǔn)位置的厚度表征結(jié)果。

■ 光斑大小可進(jìn)行定制，*小可達(dá)到10um；

■ 非接觸、非破壞測量；

■ 核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析；

■ 配置靈活、支持定制化

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

■ 采用高強(qiáng)度鹵素光源，光源穩(wěn)定性好；

■ 采用光機(jī)電高度整合一體化設(shè)計，體積小，操作簡便；

■ 基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理，輕松解析單層薄膜到多層；

三、產(chǎn)品應(yīng)用

廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)保護(hù)膜、有機(jī)薄膜、無機(jī)薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測量。