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SNE-3000MS型臺(tái)式掃描電鏡是韓國(guó)SEC公司研制的基本型Mini-SEM，非常適合于主要用SEM在1萬(wàn)倍放大倍率下進(jìn)行表面觀察的用戶。其分辨率為15nm，**放大倍數(shù)為6萬(wàn)倍；可通過(guò)U.I界面中鼠標(biāo)控制簡(jiǎn)單、方便地操作3軸載臺(tái)移動(dòng)；能使用多種掃描模式與測(cè)試工具獲得多種分析結(jié)果。
技術(shù)參數(shù)：
電子光學(xué)系統(tǒng) | 分辨率 | 15nm（30kV， 二次電子成像） |
放大倍率 | 20x~60，000x | |
加速電壓 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) | |
探測(cè)器 | 二次電子探測(cè)器（SE） | |
電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 | |
載臺(tái)系統(tǒng) | 載臺(tái)運(yùn)動(dòng) | 3軸系統(tǒng) (X， Y， R) X， Y-軸: 40mm / R-軸: 360° * 影像偏移 : ±150μm * Tilt-軸 : 0~45°（選配） |
**樣品尺寸 | 70mm（Φ）*30mm（H） | |
成像系統(tǒng) | 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)啟動(dòng)，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)消像散，自動(dòng)調(diào)節(jié)對(duì)比度與亮度 |
圖像格式 | BMP， JPEG， PNG， TIFF | |
真空系統(tǒng) | 真空模式 | 高真空 |
真空泵 | 旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵/渦輪式分子泵（全自動(dòng)） | |
尺寸與重量 | 主機(jī) | 390(W)x380(D)x560(H)mm， 83kg |
控制單元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm， 37kg | |
旋轉(zhuǎn)泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm， 24kg |
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