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LBIC 激光光束誘導(dǎo)電流成像系統(tǒng)是卓立漢光公司開(kāi)發(fā)的用于測(cè)量光電材料的光電響應(yīng)信號(hào)、表征材料光電性質(zhì)的光電系統(tǒng)。
該系統(tǒng)是基于激光光束誘導(dǎo)電流的測(cè)試原理，將光電材料對(duì)于光信號(hào)響應(yīng)的不均勻性以可量化且可視化的方式顯示出來(lái)。通過(guò)該系統(tǒng)，可以研究例如太陽(yáng)能電池光生電流的不均勻性，探索光電器件量子效率與器件電阻的分布特性，研究器件吸收與電荷生成的微區(qū)特性，以及光電材料界面、半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等。整個(gè)系統(tǒng)包括光源部分、顯微部分、位移臺(tái)部分、電控電測(cè)部分和軟件部分。
激光光束誘導(dǎo)電流成像系統(tǒng)LBIC系統(tǒng)特點(diǎn)：
高精度空間分辨率
靈活選擇多種激發(fā)光源
高倍聚焦激發(fā)光斑
精密自動(dòng)化電動(dòng)位移臺(tái)
光源、顯微、監(jiān)視光路一體化設(shè)計(jì)
激光光束誘導(dǎo)電流成像系統(tǒng)LBIC技術(shù)規(guī)格：
系統(tǒng)名稱(chēng) | LBIC激光光束誘導(dǎo)電流成像系統(tǒng) |
激發(fā)光源 | 多種高穩(wěn)定性連續(xù)激光器 |
激光功率 | 0-30mW連續(xù)可調(diào) |
聚焦光斑大小 | 小于50um |
光源功率穩(wěn)定性 | <1% |
系統(tǒng)測(cè)量重復(fù)性 | <2% |
顯微系統(tǒng) | X10、X20倍顯微物鏡 |
監(jiān)視部分 | 130W像素工業(yè)相機(jī) |
可測(cè)量樣品面積 | 100mm X 100mm |
位移空間分辨率 | 0.625um |
工作溫度范圍 | 10-35攝氏度 |
標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器 | 中國(guó)計(jì)量院標(biāo)定的Si或InGaAs標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器 |
激光光束誘導(dǎo)電流成像系統(tǒng)LBIC測(cè)試示例：
硅探測(cè)器對(duì)于405nm誘導(dǎo)激光量子效率空間分布圖，圖示空間分辨率為50um。
某硅探測(cè)器的405nm激光光束誘導(dǎo)電流空間分布圖，圖示空間分辨率為50um。
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