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XBS三級濾過四極質譜(MBE Deposition Rate Monitoring / Control System)，適于精確的MBE分析，其他氣體分析和科學實驗使用。Windows™ 界面的MASsoft軟件通過RS232、RS485 或以太網控制。
·離子源控制，用于軟離子化和表觀電勢質譜·靈敏度增強用于大質量數的傳輸，自動質量數范圍列表
·一級過濾處增加射頻，抗污染物能力增強·內置UHV 兼容的水冷卻罩
·靈敏度高，檢測范圍： 100% 至5ppb
·質量數范圍： 0~ 510amu·長期穩(wěn)定性： 24h以上，峰高變化小于±0.5%)·交叉離子源，束接收角同軸的橫斷面呈 ±35°·2mm 束接受孔，也可為特殊使用者配置·分子束研究中，檢測極限低至30 ions/s·監(jiān)測生長速率： 1? / min，或更低
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