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URE-2000/A8紫外單面光刻機
URE-2000/A8紫外單面光刻機

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四川

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深圳市藍星宇電子科技有限公司

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URE-2000/A8 紫外單面光刻機
1、設(shè)備主要技術(shù)指標:
(1) 曝光面積: 200mm×200mm;
(2)分辨力:≤ 2μm;
(3)對準精度:±2μm;
(4)掩模尺寸:5 英寸、7 英寸、9 英寸;
(5)樣片尺寸:4 英寸、6 英寸、8 英寸;
(6)wafer chuck 表面:防止光反射涂層;
(7)掩模樣片整體運動范圍:X:10mm;Y:10mm;
(8)掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6°;
(9)汞燈功率:1000W(直流);
(10)曝光能量密度:≥ 15mW/cm 2 ;
(11)曝光峰值波長:365nm;
(12)曝光方式:定時(計時方式 0.1s—999.9s);
(13)調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復
(14)數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙
(15)具備壓印模塊接口,也具備接近模塊接口
2.技術(shù)主要組成部分
(1)曝光頭系統(tǒng)包括:
。 冷光橢球鏡;
。德國 OSRAM1000W 直流高壓汞燈;
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺;
。 光學系統(tǒng)(冷光紫外平面反射鏡、快門、蠅眼透鏡組、冷光紫外拋物面反射鏡);
。 冷卻風扇。
(2)對準工件臺系統(tǒng)包括:
。掩模樣片相對運動臺;
。(XY),轉(zhuǎn)動臺;
。 樣片調(diào)平機構(gòu);
。 樣片調(diào)焦機構(gòu);
。 承片臺 3 個: 4 英寸、6 英寸、8 英寸;
。 掩模夾 3 個:5 英寸、7 英寸、9 英寸。
(3)CCD 對準顯微鏡系統(tǒng)包括:
。4 倍顯微鏡 2 只;
。照明光源 2 套;
。 CCD 相機 2 只;
。22 英寸液晶顯示器。
(5)電控系統(tǒng):
。 汞燈觸發(fā)電源(1000W);
。 單片機控制系統(tǒng);
。 控制柜桌。
(6)氣動系統(tǒng)系統(tǒng)包括:
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān),電磁閥驅(qū)動,氣動儀表等
(7)其他配置與附件
。真空泵一臺;
??諌簷C一臺;
。 配套氣管 10m;
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