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英國HHV濺射鍍膜儀BT150,BT300
英國HHV濺射鍍膜儀BT150,BT300

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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

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HHV BT150和BT300

適用于電鏡樣晶制備以及其他常規(guī)科研用途的新型臺(tái)式鍍膜設(shè)備

技術(shù)信息:

BT150

腔室:真空玻璃制,圓柱體165mm直徑×150mm高,配內(nèi)爆防護(hù)罩;可選配200mm高度的腔室
初級(jí)真空泵: 12時(shí)/h抽速的雙級(jí)旋片真空泵;可選配無油干泵
分子泵(選項(xiàng)):621/s抽速的渦輪分子泵
極限真空(無分子泵):5×10E-2mba「(3分鐘內(nèi))
極限真空(有分子泵) :5×10E-5mba「(8分鐘內(nèi))
輸入電源: 110/230V, 50/60Hz,單相
工藝附件
金屬濺射:單個(gè)濺射靶槍(54mm直徑靶材)
適用濺射靶材:Au, Au/Pd, Cu, Fe, C「等
賤射選項(xiàng):用于濺射易氧化的金屬(如Al),需配置分子泵選項(xiàng)
碳纖維蒸發(fā): 脈沖沉積,可選擇電流及除氣模式
碳棒蒸發(fā):脈沖沉積,可選擇電流及除氣模式
水冷SEM樣品臺(tái): 6個(gè)SEM樣品位,水冷和偏壓功能
旋轉(zhuǎn)SEM樣品臺(tái):6個(gè)SEM樣品位,單軸旋轉(zhuǎn)或行星運(yùn)動(dòng)式
常規(guī)科研用旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái):適合**4” 或100mm直徑基片
BT300
腔室: 真空玻璃制,圓柱體30mm直徑×150mm高,配內(nèi)爆防護(hù)罩;可選配200mm高度的腔室
初級(jí)真空泵:12時(shí)/h抽速的雙級(jí)旋片真空泵;可選配無油干泵
分子泵(選項(xiàng)):621/s抽速的渦輪分子泵
極限真空(無分子泵):5×10E-2mba「(12分鐘內(nèi))
極限真空(有分子泵): 5×10E-5mba「(20分鐘內(nèi))
輸入電源: 110/230V, 50/60Hz,單相
工藝附件
金屬濺射: 單個(gè)、 雙個(gè)或者三個(gè)濺射靶槍(54mm直徑靶材)
適用賤射靶材:Au, Au/Pd, Cu, Fe, Cr等
濺射選項(xiàng):用于濺射易氧化的金屬(如Al),需配置分子泵選項(xiàng)
旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái):常規(guī)科研用,適合**4” 或100mm直徑基片(雙靶),或150mm直徑基片(三靶)
行星運(yùn)動(dòng)式樣品臺(tái): 常規(guī)科研用,優(yōu)化沉積均勻性,適合**200mm直徑基片(三靶)
認(rèn)證標(biāo)識(shí):BT150和BT300具有CE標(biāo)識(shí)
主要特點(diǎn)
簡單的操作
會(huì)全彩、 高分辨率、 觸摸屏控制系統(tǒng)
為可存儲(chǔ)和編輯工藝配方多達(dá)30個(gè)
會(huì)工藝數(shù)據(jù)可輸出到大容量存儲(chǔ)器或計(jì)算機(jī)
會(huì)可選的集成式薄膜厚度監(jiān)測儀
為自動(dòng)識(shí)別工藝附件
工功能的薄膜沉積技術(shù)
會(huì)惰性金屬濺射(SEM應(yīng)用)
為碳纖維及碳棒蒸發(fā)(TEM應(yīng)用)
會(huì)用于碳膜表面的親水改性的輝光放電裝置(TEM應(yīng)用)
會(huì)普通金屬的濺射鍍膜(常規(guī)科學(xué)研究應(yīng)用, 需要配分子泵選項(xiàng))
會(huì)金屬的熱阻蒸發(fā)鍍膜
為自動(dòng)快門擋板的選項(xiàng)
多種樣晶臺(tái)
為水冷及偏壓的SEM樣品臺(tái)
女旋轉(zhuǎn)的SEM樣品臺(tái)
為行星式運(yùn)動(dòng)的SEM樣品臺(tái)
會(huì)適合**4” 或100mm直徑基片的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)(BT150)
為適合**8” 或200mm直徑基片的旋轉(zhuǎn)/行星運(yùn)動(dòng)式樣品臺(tái)(BT300)

新型設(shè)計(jì)的HHV BT150和BT300是面向電鏡工作者及科學(xué)研究者需求的經(jīng)濟(jì)型臺(tái)式鍍膜系統(tǒng)。BT150己具有電鏡工作者所需

的全面鍍膜能力, 而BT300配置了更大的真空腔室, 可滿足更廣泛的其他常規(guī)科研鍍膜應(yīng)用。

通常情況下, 這些系統(tǒng)采用金屬濺射來制備SEM樣品, 而采用碳纖維(或碳棒)蒸發(fā)來制備TEM樣品。碳蒸發(fā)鍍膜也可以用

于×射線微區(qū)分析的樣品。

BT系列系統(tǒng)還可配置成適合于常規(guī)科學(xué)研究需求的金屬濺射及金屬蒸發(fā)能力。

具有自動(dòng)樣晶鍍膜能力的觸摸屏操控系統(tǒng)

為了使用方便, 這兩款BT設(shè)備都配置了彩色的、 高分辨率的觸摸屏操控系統(tǒng)??刂葡到y(tǒng)可存儲(chǔ)多達(dá)30個(gè)工藝配方程序, 可隨

時(shí)調(diào)用執(zhí)行??刂葡到y(tǒng)能向外輸出工藝數(shù)據(jù) 便于存儲(chǔ)及分析。它還能自動(dòng)識(shí)別所安裝的工藝附件。

種類繁多的可選樣晶臺(tái)

BT系列設(shè)備具有多種樣品臺(tái)可供選擇。用于承載SEM樣品座的靜態(tài)樣品臺(tái)具有水冷功能, 可防止樣品過熱, 而且還含有濺射

刻蝕及清洗的裝置。使用刻蝕裝置可以提高某些樣品的圖像對比度, 而不太脆弱的樣品還能通過刻蝕來去除吸附的水汽, 從而改善薄膜附著力。

BT150可選擇旋轉(zhuǎn)甚至行星運(yùn)動(dòng)式設(shè)計(jì)的樣品臺(tái), **基片尺寸可達(dá)4英寸或者100mm。而BT300也可選擇類似的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),其**基片尺寸可達(dá)8英寸或者200mm, 滿足更廣泛的研究需要。

集成的薄膜厚度測量儀

BT系列設(shè)備的選項(xiàng)中包括全集成式的薄膜厚度監(jiān)測系統(tǒng)。該系統(tǒng)集成在觸摸屏控制器內(nèi), 可提供濺射膜厚的控制。

簡單的靶材更換

BT150和BT300采用簡單快速的靶材更換設(shè)計(jì), 在必要時(shí)可對樣品進(jìn)行不同材料的鍍膜。配置旋片泵的系統(tǒng)可以濺射惰性金屬,如金、 金/tE、 鈾和銅。增加可選的分子泵之后, 這兩款系統(tǒng)還能濺射容易氧化的金屬, 比如鋁。

真空泵選項(xiàng)
BT系列設(shè)備可以配置雙級(jí)旋片真空泵, 用于碳蒸發(fā)及惰性金屬濺射等普通應(yīng)用。而可選的分子泵可以提供設(shè)備更優(yōu)秀的性能:真正的高真空環(huán)境, 以及濺射非惰性金屬(比如鋁)的能力。
BT系列設(shè)備也可以配置干式真空泵, 滿足無油真空的要求。
安全設(shè)計(jì)及認(rèn)證
BT150和BT300具有完善的安全使用及互鎖設(shè)計(jì), 確保操作人員安全。這些設(shè)備可以提供CE標(biāo)識(shí)以及UL認(rèn)證。
創(chuàng)新點(diǎn)

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無評(píng)論!
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