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日本JEOL電子束光刻機(jī)JBX-9500FS 
日本JEOL電子束光刻機(jī)JBX-9500FS 

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

品牌

產(chǎn)地

日本

樣本

暫無(wú)
深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

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第3年

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產(chǎn)品詳情

日本JEOL電子束光刻機(jī)JBX-9500FS 

JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng),兼具世界**水平的產(chǎn)出量和定位精度,**能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版,適合納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。

產(chǎn)品規(guī)格:

電子槍

ZrO/W 肖特基型

描畫(huà)方式

圓形束, 矢量掃描, 步進(jìn)重復(fù)式

加速電壓

100kV

樣品尺寸

樣品尺寸 (可以安裝): **300mmΦ的晶圓片, **6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小樣品。

**場(chǎng)尺寸

1000μm×1000μm

樣品臺(tái)移動(dòng)范圍

260mmX240mm

樣品臺(tái)控制單元

0.15nm(λ/4096)

套刻精度

≦±11nm

場(chǎng)拼接精度

≦±10nm (場(chǎng)尺寸為1000μm×1000μm)

寫(xiě)場(chǎng)內(nèi)位置精度

≦±9nm(場(chǎng)尺寸為1000μm×1000μm)

定位DAC

20位

掃描速度

** 100MHz

產(chǎn)品特點(diǎn):

· JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng),兼具世界**水平的產(chǎn)出量和定位精度,**能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版,適合納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。

· 此外,由于具有100MHz的*快掃描速度,場(chǎng)尺寸在1000μm×1000μm時(shí)的套刻精度達(dá)到±11nm、場(chǎng)拼接精度為±10nm、寫(xiě)場(chǎng)內(nèi)位置精度達(dá)±9nm,是兼具世界**水準(zhǔn)產(chǎn)出率和位置精度的100kV圓形束光刻系統(tǒng)。

· 由于采用的位置偏轉(zhuǎn)DAC為20位,掃描DAC為14位,能獲得0.25nm的掃描步距,分辨率更高,描畫(huà)數(shù)據(jù)增長(zhǎng)1nm,可以更忠實(shí)地再現(xiàn)描畫(huà)數(shù)據(jù)。

· *快達(dá)到100MHz的高速化掃描速度,保證了大電流描畫(huà)時(shí)的掃描步距很短,因而能提高對(duì)精度要求極高的圖形描畫(huà)的產(chǎn)出量。

· 由激光束控制(LBC)的0.15nm(λ/4096)的*小定位單位及高分辨率,達(dá)到了世界**水準(zhǔn)的位置精度。

· 本公司獨(dú)自的自動(dòng)校正功能(自動(dòng)補(bǔ)償功能),實(shí)現(xiàn)了可信賴(lài)的長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地描畫(huà)。自動(dòng)補(bǔ)償可以根據(jù)時(shí)間(任意的)、場(chǎng)和圖形進(jìn)行分別設(shè)定,非常適合于周末及休假等無(wú)人值守等情況下的長(zhǎng)時(shí)間描畫(huà)。

· 該系統(tǒng)**能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的光掩模版,適合于納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等各種領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。采用材料卡匣傳送系統(tǒng)(選配),*多可裝載10個(gè)卡匣。

· 利用微間距控制程序(場(chǎng)尺寸微調(diào)程序)可以制作DFB激光器等的啁啾光柵。

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售后服務(wù)

10分

易用性

10分

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