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高頻等離子表面處理裝置
■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機(jī)型，DP和RIE標(biāo)配的雙模等離子清洗機(jī)，可對應(yīng)更多復(fù)雜工藝.
● 標(biāo)準(zhǔn)配備電離式真空計(jì)，實(shí)時(shí)顯示真空度，使得控制更為精確。
● 液晶觸摸屏控制，操作使用簡單，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單。
■ 安全性·保護(hù)
● 標(biāo)準(zhǔn)配備真空泄漏檢測功能，可以根據(jù)需要檢查設(shè)備的真空以及泄漏情況。
● 裝載有過電流漏電保護(hù)、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標(biāo)準(zhǔn)配備過電流漏電保護(hù)裝置。
● 發(fā)生器保護(hù)回路：超負(fù)荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時(shí)，可自動(dòng)調(diào)低頻率來保護(hù)發(fā)生器。
● 門鎖開關(guān)：門在未完全關(guān)閉時(shí)無法啟動(dòng)電源。
● 側(cè)板鎖：本體側(cè)板突然打開或者未關(guān)好時(shí)，會(huì)停止電源。
● 緊急停止按鍵（EMO）標(biāo)準(zhǔn)配備。
● 當(dāng)裝置發(fā)生異常時(shí)，裝置本體發(fā)出警告信號(hào)的同時(shí)，進(jìn)行以下動(dòng)作1）關(guān)閉主閥。（2）關(guān)閉供氣閥。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時(shí)間。（5）聲光報(bào)警
■ 產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機(jī)清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。
●DP&RIE雙模處理，可對應(yīng)更復(fù)雜的工藝。
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。
●可變電極構(gòu)造提高等離子處理效果。
●安全保護(hù)措施綿密，有效防止對機(jī)器以及樣品的損害。
●可根據(jù)需求的具體情況提供產(chǎn)品定制服務(wù)。
■ 技術(shù)規(guī)格
型號(hào) | V1000 | |
方式 | DP&RIE雙模標(biāo)準(zhǔn)裝備 | |
性能 | 發(fā)生器功率： | 0-1000W |
發(fā)生器頻率： | 射頻RF13.56Mhz | |
發(fā)生器匹配方式： | 自動(dòng)匹配（Auto matching) | |
構(gòu)成 | 腔體材質(zhì)： | 鋁制腔體 |
腔體內(nèi)尺寸： | 400×400×384mm 約61.4L | |
電極尺寸： | 300mm×300mm | |
反應(yīng)氣體： | 雙路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮?dú)獾确歉g性氣體 | |
填充氣體： | 一路氮?dú)?/span> | |
控制方式： | 全自動(dòng)控制，5.7寸液晶觸摸屏 | |
真空度顯示： | 測量高真空的電離式真空計(jì)標(biāo)準(zhǔn)配備，實(shí)時(shí)顯示腔體內(nèi)真空度 | |
配管材質(zhì)： | SUS不銹鋼以及特氟龍 | |
門： | 鉸鏈門 | |
涂裝顏色： | 標(biāo)準(zhǔn)色，白系 | |
外形尺寸： | W700×D800×H1600mm（高度含警報(bào)燈） | |
真空泵： | 無油干式真空泵 抽速100m3/hour，吸氣口NW40，排氣口NW25 | |
電源規(guī)格： | 3phase AC200V 50/60Hz 8A | |
重量： | 約215kg | |
附屬品 | 真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套 | |
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