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| E'Wave® 雙極脈衝直流電系列 |
| Advanced Energy 的 E'Wave® 雙極脈衝直流電源改善了表面均勻性，減少了雙鑲嵌製程流程 (dual-damascene process flow， DDPF) 應(yīng)用的鍍銅階段之附加消耗，包括在生產(chǎn)環(huán)境和銅製程開發(fā)中的晶圓電鍍。E'Wave 電源提供多達(dá)三個(gè)通道，每個(gè)都有一個(gè)獨(dú)立驅(qū)動(dòng)的雙極電源，能夠生成、儲(chǔ)存和運(yùn)行多達(dá)15個(gè)由電流控制或由電壓控制的波形。 |
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