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石墨盤溫度測量系統(tǒng)
石墨盤溫度測量系統(tǒng)

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美國

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巨力科技有限公司

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技術介紹:系統(tǒng)利用兩個溫度傳感器同時通過MOCVD 設備的可視窗口掃描石墨盤,進行溫

度測量。在單次測量時,傳感器探頭從石墨盤中心逐漸掃描到邊緣,同時,整個盤以一定轉

速在旋轉,所以,可快速、輕易、精確地得到整盤的溫度分布圖;

應用范圍:適用于Veeco K465i 和EPIK700 MOCVD,以及其他品牌類似系統(tǒng),可實時快速對石墨盤的整體溫度分布進行Mapping 測量,分析盤面溫度的分布均勻性;有幫于客戶調整加熱區(qū)域,改善并優(yōu)化工藝,以提高產品質量和器件性能。

技術指標及特點:

1. 適配MOCVD 型號:Veeco K465i 及EPIK700 以及其他品牌類似系統(tǒng);

2. 掃描范圍:全盤掃描,自定義部分區(qū)域掃描;

3. 溫度范圍:530℃-1250℃(可選更高);

4. 溫度分辨率:530-700℃:±1℃;700-1250℃:±0.3℃;

5. 掃描分辨率:用戶自定義,通常設置為徑向掃描步進:1mm,角度分辨率:0.3°或更高;

6. 掃描時間:與石墨盤旋轉速度有關,例如:盤轉速為600rpm,徑向掃描步進為1mm 時,整盤掃描時間93s;可預設掃描開始時間或兩次掃描時間間隔,以便與薄膜生長狀態(tài)相關聯;

7. 溫度分析功能:溫度2D 或3D 直觀圖形顯示及統(tǒng)計分析,定義的半徑或直徑上的徑向溫度分布,指定半徑上的溫度分布并與RT 數據進行比對,目標區(qū)域放大分析,Crosshair 徑向分析,石墨盤每個pocket 溫度統(tǒng)計分析(**值,*小值、平均值及標準偏差)。

8. 溫度校準:既可校準到已知溫度設定點,也可使用kSA Spectra Temp 溫度測溫工具校準到**溫度。

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