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PCE-6小型等離子清洗機
PCE-6小型等離子清洗機

參考價格

面議

型號

品牌

產地

遼寧

樣本

暫無
沈陽科晶自動化設備有限公司

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第3年

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生產商

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產品簡介:PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為?160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz( 1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

產品型號

PCE-6小型等離子清洗機

主要特點

1、通過控制面板的按鍵及開關,可控制調節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。

2、時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數碼管上。

3、設有一個三通閥,可精確控制進氣流量,以及大氣流清洗腔體,進氣接口為6mm卡套接口。

4、選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

技術參數

1、電源:AC220V 50/60Hz

2、輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W

3、真空泵功率:<500W

4、總功率:<600W

5、射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動調節(jié)

6、等離子腔體:高純石英腔體,?160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設有?45mm

        察窗

7、真空泵:240L/min,直連式雙旋真空泵

8、極限真空度:50mtorr

9、通入氣體:可通入多種氣體來產生等離子,如N2、Ar、H2O2、Air和混合氣體等(根據材料性質選定)

清洗及蝕刻

產品規(guī)格

尺寸:400mm×300mm×300mm,重量:10.2kg

可選配件

12"-6"石英舟(盛放基片)

2、2-4通道質子或浮子混氣系統(tǒng)

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產品質量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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