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1200℃低真空CVD系統(tǒng)是由滑動(dòng)式管式實(shí)驗(yàn)電爐，混氣系統(tǒng)，真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達(dá)1200℃，通過滑動(dòng)爐體來實(shí)現(xiàn)快速的升降溫；配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度；同時(shí)通過三路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。是為石墨烯生長(zhǎng)、研發(fā)的專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn)。
主要技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | 整機(jī)采用SUS304不銹鋼材質(zhì)，流線型外觀，斷熱式結(jié)構(gòu)； 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好； 爐子底部裝有一對(duì)滑軌，移動(dòng)平穩(wěn)； 爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻； 支撐兩端安裝油壓緩沖器； 爐蓋可開啟，可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料 |
尺寸重量 | 1240*600*1340mm；170kg |
電源 | 電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW |
爐管 | 高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極??； 尺寸：Φ60/80/100*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空； 一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷； 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐； 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合。 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲，表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用； 加熱區(qū)長(zhǎng)度：300mm；恒溫區(qū)長(zhǎng)度：150mm； 工作溫度：≤1150℃； **溫度：1200℃； 升溫速率：推薦≤10℃/min，*快升溫速度30℃/min |
溫控系統(tǒng) | 日本富士?jī)x表，64段控溫程序，可分步、分段； 測(cè)溫元件：N型熱電偶； 控溫精度：±1℃ |
混氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制 內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套 每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量 流量規(guī)格：0~1SLM 流量精度：±1.5% |
真空系統(tǒng) | 采用雙極旋片真空泵，真空度可達(dá)10Pa |
可選配件 | 高真空系統(tǒng)，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計(jì)算機(jī)控制軟件 |
保修期 | 整機(jī)一年保修（相關(guān)耗材除外） |
可根據(jù)客戶要求定制！
特色與優(yōu)勢(shì)
1.滑動(dòng)式爐體結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)快速升降溫；
2.開啟式爐蓋設(shè)置，降低沉積溫度、加快沉積速度；
3.日本富士溫控儀表，64段控溫程序，可分布，分段，三路質(zhì)量流量計(jì)，數(shù)字顯示精確控制氣體流量；
4.雙極旋片真空泵+分子泵，實(shí)現(xiàn)對(duì)真空度的不同要求，極限真空可達(dá)4.0*10-4Pa。
暫無數(shù)據(jù)！
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