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反射物鏡可調(diào)節(jié),適用于精密校準
可選多種鍍膜,適用于特定波長范圍
采用有限共軛設計和RMS螺紋,可輕松集成在多種物鏡設置中
我們的TECHSPEC® 可調(diào)ReflX™ 物鏡,前身為Beck/Ealing反射物鏡,擁有堅固的設計和多樣的放大倍率,適用于各種應用。所有反射物鏡都具有160mm的鏡筒長度和0.17mm的保護玻璃,在組裝和精密對準時可提供良好的性能。為了延長物鏡的使用壽命,除了15X,0.5NA物鏡,其他物鏡都可通過通用扳手調(diào)整內(nèi)部反射鏡的中心定位(附帶詳細說明)。通過移動調(diào)整環(huán),74X物鏡可實現(xiàn)鏡筒長度和保護玻璃的校正(如果鏡筒長度改變,應重新檢查和調(diào)整反射鏡的中心定位)。
每個物鏡都有3種鍍膜可選:鍍鋁外加氟化鎂鍍膜適用于近紫外(NUV)-可見光波段,深紫外(DUV)加硬鍍鋁適用于深紫外(DUV)-近紫外(NUV)波段,鍍金膜適用于紅外(IR)波段。這款標準的顯微鏡物鏡可使您免受色差和材料吸收問題的困擾,這款組件非常適用于需要高吞吐量和優(yōu)異分辨率的應用,如紅外光譜儀和顯微鏡,光刻,薄膜測量,半導體檢查和激光蝕刻等應用。
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