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等離子體清洗機(jī)對某些有特殊用途的材料，在超清洗過程中等離子體清洗機(jī)的輝光放電不但加強(qiáng)了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

等離子體清洗機(jī)的應(yīng)用范圍：

* 清洗電子元件、光學(xué)器件、激光器件、鍍膜基片、芯片。

* 清洗光學(xué)鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片。

* 移除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件等表面的光阻物質(zhì)。

* 清洗ATR元件、各種形狀的人工晶體、天然晶體和寶石。

* 清洗半導(dǎo)體元件、印刷線路板。

* 清洗生物芯片、微流控芯片。

* 清洗沉積凝膠的基片。

* 高分子材料表面修飾。

* 牙科材料、人造移植物、醫(yī)療器械的消毒和殺菌。

* 改善粘接光學(xué)元件、光纖、生物醫(yī)學(xué)材料、宇航材料等所用膠水的粘和力。

設(shè)備型號：PE-50

腔體尺寸：長方形腔體，長度140 x深度178 x高度89mm；

腔體材質(zhì)：T-6鋁合金一體成型；

腔體容積：2.21升；

射頻電源：13.56MHz；0~100W自動調(diào)節(jié)；

工作壓力范圍：1-2000 mT；

氣體流量控制：0-25cc/min帶精密針閥；

皮拉尼真空計(jì)： 0-1Torr；

選配：

1、150W，50KHz；

2、400W，50KHz；

3、150W，13.56 MHz；（自動匹配網(wǎng)絡(luò)）;

4、300W，13.56 MHz；（自動匹配網(wǎng)絡(luò)）;

5、Venus PC控制功能，可以通過MFC控制氣體；