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臺式小型機(jī)，PLC人機(jī)自動控制，簡單易用，適用于實驗室及小批量工業(yè)生產(chǎn)中材料表面清洗、蝕刻、活化等工藝。

提供三種功能配置：

1. 常規(guī)的等離子清洗和等離子刻蝕

2. 反應(yīng)離子刻蝕（RIE）

3. 可轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)（包含可以進(jìn)行各向同性和各向異性的等離子工藝）可拆卸的托盤構(gòu)造。

等離子刻蝕機(jī)技術(shù)參數(shù)：

設(shè)備型號：PE-100

腔體尺寸：長方形腔體，長度305 x深度368 x高度305mm；

腔體材質(zhì)：T-6鋁合金一體成型；

腔體容積：34升；

射頻電源：13.56MHz；0~300W自動調(diào)節(jié)；

工作壓力范圍：1-2000 mT；

氣體流量控制：0-50cc/min帶精密針閥；

皮拉尼真空計： 0-1Torr；