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FT-3110系列全自動四探針測試儀
一.功能描述:
四點探針法,全自動化運行測量系統(tǒng),PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理;參照A.S.T.M 標準方法測試半導(dǎo)體材料電阻率和方塊電阻;可設(shè)定探針壓力值、測試點數(shù)、多種測量模式選擇;真空環(huán)境,可顯示:方阻、電阻率、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值、提供標準校準電阻件. 報表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析.
二.適用范圍
晶圓、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測量;選擇性發(fā)射極擴散片;表面鈍化片;交叉指樣PN結(jié)擴散片;新型電極設(shè)計,如電鍍銅電阻測量等;半導(dǎo)體材料分析,鐵電材料,納米材料,太陽能電池,LCD,OLED,觸摸屏等.
三.技術(shù)參數(shù):
| 規(guī)格型號 | FT-3110A | FT-3110B | 
| 1.電阻 | 10^-5~2×10^5Ω | 10^-6~2×10^5Ω | 
| 2.方塊電阻 | 10^-5~2×10^5Ω/□ | 10^-6~2×10^5Ω/□ | 
| 3.電阻率 | 10^-6~2×10^6Ω-cm | 10-7~2×106Ω-cm | 
| 4.測試電流 | 0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA, 10mA,100mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA | 
| 5.電流精度 | ±0.1% | |
| 6.電阻精度 | ≤0.3% | |
| 7.PC軟件操作 | PC軟件界面:電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、壓力、 報表生成等 | |
| 8.壓力范圍: | 探針壓力可調(diào)范圍:軟件控制,100-500g可調(diào) | |
| 9.探針 | 針間絕緣電阻:≥1000MΩ;機械游移率:≤0.3% 圓頭銅鍍金材質(zhì),探針間距1mm;2mm;3mm選配,其他規(guī)格可定制 | |
| 10.可測晶片 尺寸選購 | 晶圓尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm); 方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm | |
| 11.分析模式 | 單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試 | |
| 12.加壓方式 | 測量重復(fù)性:重復(fù)性≤3% | |
| 13.安全防護 | 具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報 | |
| 14.測試環(huán)境 | 真空 | |
| 15.電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W | |
| 16.選購項目 | 電腦和打印機 | |
暫無數(shù)據(jù)!
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