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機械控制系統(tǒng)

1、工具軸承轉(zhuǎn)速：300－20000rpm，可調(diào)。

*工具前進步徑：100μm，10μm，1μm及0.5μm可選。

顯示步徑值。并具有快進和撤回功能。

* 工具左右移動范圍：75mm（手動模式），24mm（自動模式），12mm（馬達驅(qū)動）

工具左右移動控制參數(shù)：左右移動速度0.025－0.5mm/s；

使用空心鉆時移動速度設(shè)置為0.

*自動磨拋功能：具有時間倒jishi自動控制和進程倒計數(shù)自動控制。

具有自動應(yīng)力反饋功能，確保樣品不被破壞。

可設(shè)定工具左右移動窗口，提高效率。

* 冷卻液流速控制：自動蠕動泵控制，流速范圍2－20ml/min。

2. 觀察系統(tǒng)

*體視鏡放大倍數(shù)：配備品牌高端體視顯微鏡，放大倍數(shù)9.6x-77x

*照明系統(tǒng)：環(huán)形LED照明，4分割，可選不同的照明角度和亮度。

帶有坐標(biāo)尺：12mm，120分格

* 帶有可移動物鏡：移動范圍±5μm

* 對樣品觀察角度：0°－90°

3. 樣品臂

*樣品臂傾斜角度：0°－60°

*樣品角度可調(diào)整：可選配樣品角度調(diào)整適配器，角度調(diào)整范圍X和Y方向各±5°

4. 可實現(xiàn)功能

*可為光學(xué)顯微鏡樣品做定點切割、研磨、拋光等制備。