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快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備。
RSO-200快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用，適用于樣品尺寸大、但是退火溫度不太高的樣品。
儀器特點(diǎn)：
- **工藝溫度：650攝氏度；
- 加熱區(qū)域：200mm x 170mm；
- 高性?xún)r(jià)比；
參考用戶(hù)：
中電13所等。
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