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在線式HIT用PECVD
In-Line PECVD system for HIT junctions
用于制備高效異質(zhì)結(jié)太陽電池的直線型等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
Throughput: 18 wafers (6”)/cycle
產(chǎn)率：18片6吋硅片/循環(huán)
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