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ResMap四探針測(cè)試儀
ResMap四探針電阻率測(cè)試儀
ResMap CDE273四探針太陽(yáng)能硅片電阻率測(cè)試儀
ResMap CDE273四探針電阻率測(cè)試儀簡(jiǎn)介:
四探針太陽(yáng)能硅片電阻率測(cè)試儀
光伏測(cè)試專用美國(guó)ResMap四點(diǎn)探針
ResMap CDE273四探針電阻率測(cè)試儀的特點(diǎn)如簡(jiǎn)述如下:
* 高速穩(wěn)定及**自動(dòng)決定范圍量測(cè)與傳送,THROUGHPUT高
* 數(shù)字方式及每點(diǎn)高達(dá)4000筆數(shù)據(jù)搜集,表現(xiàn)良好重復(fù)性及再現(xiàn)性
* Windows 操作接口及軟件操作簡(jiǎn)單
* 新制程表現(xiàn)佳(銅制程低電阻率1.67mΩ-cm及Implant高電阻2KΩ/□以上,皆可達(dá)成高精確度及重復(fù)性)
* 體積小,占無(wú)塵室面積少
* 校正簡(jiǎn)單,且校正周期長(zhǎng)
* 可配合客戶需求,增強(qiáng)功能與適用性
* 300mm 機(jī)種可以裝2~4個(gè)量測(cè)頭,并且可以Recipe設(shè)定更換
CDE ResMap–CDE 公司生產(chǎn)之電阻值測(cè)試系統(tǒng)是以四探針的工藝,以配合各半導(dǎo)體成光伏生產(chǎn)廠家進(jìn)出之生產(chǎn)品質(zhì)監(jiān)控,超卓可靠又簡(jiǎn)易操作的設(shè)備是半導(dǎo)體及光伏生產(chǎn)廠家不可缺少的。
ResMap CDE273四探針電阻率測(cè)試儀主要特點(diǎn):
測(cè)量范圍廣,精度高,穩(wěn)定性好,功能齊全強(qiáng)大,軟件好用,維修成本低,服務(wù)好,配件齊全...
美國(guó)進(jìn)口四探針電阻率測(cè)試儀(4PP)/方塊電阻測(cè)試儀/太陽(yáng)能光伏擴(kuò)散薄層電阻測(cè)試儀(Four point probe(4PP))
設(shè)備名稱: 四點(diǎn)探針電阻儀 (CDE ResMap)
主機(jī)廠牌、型號(hào)與附件: CDE ResMap
規(guī)格:
1. Pin material: Tungsten Carbide.
2. Pin compression force Typically 100 gm to 200 gm.
3. 樣品尺寸: 2吋至6吋晶圓 (表面須為平整的導(dǎo)電薄膜,半導(dǎo)體材料)
設(shè)備用途: 導(dǎo)電薄膜的電阻值分布測(cè)量,半導(dǎo)體,光伏
________________________________________
特點(diǎn):
1)針尖壓力一致
2)適用于各種基底材料
3)友好的用戶界面
4)快速測(cè)量
5)數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)
應(yīng)用:
1)方塊電阻
2)薄片電阻
3)摻雜濃度
4)金屬層厚度
5)P/N類型
6)I/V測(cè)試
ResMap CDE273四探針電阻率測(cè)試儀測(cè)試性能指標(biāo):
探針材料 WC
探頭壽命> 500W次
Resmap168,178,273區(qū)別:
暫無(wú)數(shù)據(jù)!