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項(xiàng)目

技術(shù)指標(biāo)

儀器型號(hào)

EMPro31

激光波長(zhǎng)

632.8nm (He-Ne Laser)

（^1）膜層厚度精度

0.01nm (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO₂膜層)

（^1）折射率精度

1x10^-4 (對(duì)于Si基底上100nm的SiO₂膜層)

單次測(cè)量時(shí)間

與測(cè)量設(shè)置相關(guān)，典型0.6s

結(jié)構(gòu)

PSCA（Δ在0°或180°附近時(shí)也具有極高的準(zhǔn)確度）

激光光束直徑

1mm

入射角度

40°-90°可手動(dòng)調(diào)節(jié)，步進(jìn)5°

樣品方位調(diào)整

• Z軸高度調(diào)節(jié)：±6.5mm
• 二維俯仰調(diào)節(jié)：±4°
• 樣品對(duì)準(zhǔn)：光學(xué)自準(zhǔn)直和顯微對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

樣品臺(tái)尺寸

平面樣品直徑可達(dá)Φ170mm

**的膜層范圍

• 透明薄膜可達(dá)4000nm
• 吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關(guān)

**外形尺寸

887 x 332 x 552mm (入射角為90º時(shí))

儀器重量（凈重）

25Kg

選配件

• 水平XY軸調(diào)節(jié)平移臺(tái)
• 真空吸附泵

軟件

ETEM軟件：

• 中英文界面可選；
• l多個(gè)預(yù)設(shè)項(xiàng)目供快捷操作使用；
• l單角度測(cè)量/多角度測(cè)量操作和數(shù)據(jù)擬合；
• 方便的數(shù)據(jù)顯示、編輯和輸出
• 豐富的模型和材料數(shù)據(jù)庫(kù)支持