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此款小型離子濺射儀主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜（金膜），儀器操作簡(jiǎn)單方便，是配合SEM 制樣必備的儀器。設(shè)備配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空，在 20Pa 真空保護(hù)。同時(shí)，配有專(zhuān)用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)裝置，以方便空氣或氬氣等工作氣體充入。
產(chǎn)品編號(hào) | ZB-YQ1700 |
產(chǎn)品名稱(chēng) | 小型離子濺射儀 |
玻璃處理室 | Φ100mm、高度130mm |
試樣臺(tái)尺寸 | Φ40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯 |
金靶尺寸 | Φ58mm |
真空系統(tǒng) | 直聯(lián)旋片真空泵2L/S |
真空檢測(cè) | 皮氏計(jì) |
真空保護(hù) | 20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空 |
工作氣體 | 空氣或氬氣，配有氬氣專(zhuān)用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié) |
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