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接觸電阻率測量儀
這款緊湊型儀器測量成品太陽能電池的接觸電阻率，手指線電阻，手指寬度和手指高度，或者測試結(jié)構(gòu)。
通過在所有軸上電動化，可以通過按一個按鈕來創(chuàng)建所有這些方法的地圖。
用于測量薄擴散層的薄層電阻和晶圓電阻率的四點探頭，使得TLM-SCAN 成為一種低成本，快速，高質(zhì)量的四點探針貼圖儀。
使操作更簡單的功能：
自動位置校正以獲得**接觸質(zhì)量
蓋子關(guān)閉時自動啟動
自動采樣編號
軟件探頭識別
精確的導航與歡樂棒和顯微鏡相機
通過點擊圖像來探測定位和重新測量單點
一個樣品上多個TLM測試圖案的批處理模式
序列模式通過按一個按鈕來測量接觸電阻率和手指幾何圖形的映射
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