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在材料產品中，CVD-SiC是頗具成長性的產品，該產品可作為半導體生產設備的治具及部件。碳化硅是硅和碳1:1結合構成的一種化合物，其硬度僅次于鉆石和碳化硼。Ferrotec應用含有硅和碳的氣體即CVD工藝法來進行制造。以硅片為例，采用CVD法將碳化硅涂覆在加工成圓盤狀的石墨基材表面，切削外緣后，通過高溫氧化除去石墨基材，再經過數(shù)道后續(xù)加工，硅片就完成了。在能源等高端產業(yè)領域，碳化硅這種高純度材料受到越來越多的關注。
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