主成分含量(%):
-制作方法:
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本產品涉及一種太陽能半導體石英坩堝,是光伏單晶爐的關鍵部件,由高純石英砂制成,主要用于盛裝熔融硅并制成后續(xù)工序所需晶棒。石英坩堝在高溫下具有趨向變成二氧化硅的晶體(方石英),即再結晶, 也稱“失透”或“析晶”。析晶導致坩堝內層被破壞,外層顆粒氧化物進入硅液,使生長的硅晶體結構變異,無法正常長晶;坩堝厚度加速減薄,進而發(fā)生形變,因而坩堝報廢,無法重復利用,是拉晶的關鍵耗材。
石英坩堝為半透明狀,有三層結構,即涂層、氣泡空乏層、氣泡復合層。 比例取決于坩堝制造企業(yè),如5:3:2、4:3:3或3:4:3等。
氣泡空乏層:一般指內層,是一層3~5mm的透明層,氣泡空乏層的存在使坩堝與溶液接觸區(qū)的氣泡密度降低,從而改善單晶生長的成功率及晶棒品質。 內層/透明層對石英砂的要求**。SiO?純度大于99.998%是基本要求
氣泡復合層:一般指外層,是高氣泡密度的區(qū)域,受熱均勻保溫效果好。
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