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雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng) CVD1200C-II-SL 200D50
雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng) CVD1200C-II-SL 200D50

參考價格

面議

型號

雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng) CVD1200C-II-SL 200D50

品牌

康帕因

產(chǎn)地

安徽

樣本

暫無
合肥康帕因設備技術有限公司

金牌會員

|

第3年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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設備描述

CVD1200C-II-SL  200D50-5Z 雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫;PLC控制5路質子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。CVD(化學氣象沉積系統(tǒng))常用于表面材料生長、沉積,是一款實驗室常用設備

技術參數(shù)










 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

雙溫區(qū)滑軌爐LFT1200C-II 200D50-5Z

爐體結構

 該設備采用雙層殼體并帶有風冷系統(tǒng),使其爐體表面溫度都小于55℃

 爐底安裝一對滑軌,可手動滑動,以便滿足特殊工藝的快速升降溫的求。

爐管尺寸

Φ50/60/80/100×1400mm(可提供特殊定制。)

功率

5kW

輸入電壓

220VAC 單相 50/60Hz

加熱元件

Cr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金)

**溫度

**溫度:1200℃ 

額定溫度:1100℃

升溫速率

 ≦10℃/min(推薦)

加熱區(qū)長度度

    兩個加熱區(qū)的長度都是200mm

    分別由獨立的溫控系統(tǒng)控制

恒溫區(qū)長

     100+100mm(±1℃)

     可獲得較長恒溫區(qū)間

控溫精度

     ±1℃

快速連接法蘭

     Φ50快結式不銹鋼真空法蘭

     打開法蘭直接卸下卡箍即可,取放樣品方便
  另配備有可調節(jié)高度的法蘭支架



 

 

 

五路質子流量控制系統(tǒng)

MFC-5Z


電壓

 220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質

 316不銹鋼

量程

 50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇)

工作溫度

 5~45℃

外型尺寸

 600(L) x 600(W) x 700(H) mm

電壓

 AC220V/50Hz單相

功率

 23W



 

 

真空系統(tǒng)

LVU-10

殼體尺寸

     600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

**承載量

     1000 Lbs 

抽氣速率

      10m3/h

    極限真空度:10-1Pa

    雙層立式油污過濾器(PE材質)與真空泵連接

質保期

一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈加熱元件等易耗件





使用注意事項

     爐管內氣壓不可高于0.02MPa     

    當爐體溫度高于1000時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

    石英管的長時間使用溫度<1100

    對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


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售后服務

10分

易用性

10分

性價比

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