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? 光譜儀特征：平場掠入射光譜儀
? 靈活選擇探測器：X射線CCD相機或MCP/低噪聲CMOS相機系統
? 支持模塊化設計匹配不同的實驗場景
? 狹縫對于信噪比的優(yōu)化：狹縫的特殊支持和可變的濾波單元
? 平場掠入射光譜儀
? 波長范圍：極紫外（XUV）光柵 5~90nm，軟X射線（SXR）光柵1~20nm
? 探測器的靈活選擇：X射線CCD攝像機或 MCP / 低噪聲CMOS攝像機系統
? 工作壓力<10-6mbar，可選配用于獨立真空操作的無油泵系統
? 可根據用戶要求定制
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