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陶瓷載盤具有高平面精度、高形貌精度、高使用壽命的特性，產品生產全流程工藝可靠、質量穩(wěn)定，實現(xiàn)了產品在不同工況下優(yōu)良的服役性能，有效解決了電極壓傷、裂盤、耐腐蝕能力差等諸多難題，在實際應用中實現(xiàn)了半導體晶圓材料良好的CMP拋光品質，突破了國外廠商的技術壟斷，成功實現(xiàn)了國產替代。
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