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●重復(fù)定位精度高
●安全可靠
●模塊化設(shè)計(jì)
●適用性廣
| 外形尺寸:根據(jù)客戶需求定制 | 重量:≤25Kg | 法蘭接口:CF35/CF63/CF100多種可選 |
| 開環(huán)重復(fù)定位精度:±10μm | 閉環(huán)重復(fù)定位精度:±2μm | 限位響應(yīng):≤10ms |
| 工作速度:≤6mm/s | 驅(qū)動(dòng)行程:120mm或定制 | 靶數(shù)量: 3個(gè)或定制 |
| 靶類型:矯正靶/YAG/OTR | 視場:30×30或定制 | 圖像分辨率:20μm或定制 |
| 圖像數(shù)據(jù)通訊:100M以太網(wǎng)通信 | 環(huán)境溫度:-20°C~ 60°C | 真空參數(shù):極限真空優(yōu)于5.0X10-8 Pa |
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