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200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能

通過單極片實(shí)現(xiàn)0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX。

透射電子顯微鏡除了延續(xù)了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡“HD-2700”的球面像差校正器的功能、自動校正功能，像差校正后的SEM圖像和對稱Dual SDD技術(shù)等特點(diǎn)。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術(shù)。

對于包括高端用戶在內(nèi)的廣泛用戶，我們提供亞?級空間分辨率和高分析性能以及更多樣化的觀察和分析方法。

特點(diǎn)：

標(biāo)配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器（附自動校正功能）

搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場FE電子槍

鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機(jī)體的性能大幅度提升

觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時觀察原子分辨率SE圖像

采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺結(jié)構(gòu)以及樣品桿

支持高立體角EDX*的對稱配置（對稱Dual SDD*）

采用全新構(gòu)造的機(jī)體外殼蓋

配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿

選項(xiàng)

高輝度冷場FE電子槍×高穩(wěn)定性×日立制球面像差校正器

以長年積累起來的高輝度冷場FE電子源技術(shù)為基礎(chǔ)，進(jìn)行優(yōu)化，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)電子槍的高度穩(wěn)定性。

此外，還更新了鏡體，電源系統(tǒng)和樣品臺，以支持觀察亞?圖像，并提升了機(jī)械和電氣穩(wěn)定性，然后與日立公司的球差校正器結(jié)合使用。

不僅可以穩(wěn)定地獲得更高亮度更精密的探頭，而且自動像差校正功能可以實(shí)現(xiàn)快速校正，從而易于發(fā)揮設(shè)備的固有性能。使像差校正可以更實(shí)用。

支持高立體角EDX*的對稱Dual SDD*

支持雙重配置100 mm2 SDD檢測器，以實(shí)現(xiàn)更高的靈敏度和處理能力進(jìn)行EDX元素分析。

由于第二檢測器位于**檢測器的對面位置，因此，幾乎不會因?yàn)闃悠穬A斜，導(dǎo)致X射線中的信號檢測量發(fā)生變化。所以，即使是結(jié)晶性樣品，也不用顧忌信號量，可完全按照樣品的方向與位置進(jìn)行元素分析。

此外，對于電子束敏感樣品、低X光輻射量的樣品，除了原子列映射，在低倍、廣視野的高精細(xì)映射等領(lǐng)域也極為有效。

像差校正SEM圖像/STEM圖像　同時觀察

配有標(biāo)配二次電子檢測器，可同時觀察像差校正SEM/STEM圖像。通過同時觀察樣品的表面和內(nèi)部結(jié)構(gòu)，可以掌握樣品的三維構(gòu)造。

在像差校正SEM圖像中，除了可以通過校正球差來提高分辨率之外，還可以獲取更真實(shí)地樣品表面圖像。