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8寸/12寸晶圓脫膠插片清洗一體機品牌
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適用工件：
(Applicable parts)8寸/12寸晶圓
(8”/12”Wafer) 批量產能：
(Capacity)400~450 PCS/h 工藝流程：
(Procedure Flow)LD→QDR→超聲堿液清洗-→脫膠槽→分片槽→插片機構→掃碼
搬運機構→ (超聲堿洗槽1→超聲堿洗槽2→漂洗槽1→慢拉漂洗槽2→烘干槽1→烘干槽2→ULD--
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