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F300-PSS PSS 缺陷檢測設備品牌
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適應晶圓尺寸 Wafer Size
l Size: 4", 6" compatible
檢測缺陷類別 Defect types
l 常規(guī)檢測:微觀亮/暗缺陷、宏觀亮/暗缺陷、刮傷(Scratch)、defocus、甩膠(SpinPR 及 Comet)、格線(Shotline)、 脫膠(Degumming)
l 帶有深度學習系統(tǒng)與神經網絡算法，可以對缺陷類別進行精 準分類
l 支持用戶定義或協商定制缺陷類別，但增加缺陷類別可能會 影響產能
PSS缺陷檢測設備采用自研光學鏡頭、高性能工業(yè)相機和高精度STAGE平臺，具備業(yè)界**的檢測性能，用于4@@、6@@ PR片、PSS片和藍寶石拋光片的缺陷檢測，具有鐳刻碼識別、缺陷檢測及分類、反射率測量及分類、缺陷riview、晶圓分檔和光刻膠厚度測量等功能。
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