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1）： 適用SIC襯底片的倒角后清洗，可兼容4寸、6寸、8寸規(guī)格
2）： 全自動控制，高速機械手，保證設(shè)備運行平穩(wěn)，定位可靠
3）： 全自動控制，機械手傳遞片籃，采用工控機+觸摸屏控制方式，電器件均采用進口品牌
4）： 人性化的操作界面，采用先進的觸摸屏終端顯示，智能化記憶控制，有效提高工作效率
5）： 高速移裁機械手，伺服驅(qū)動控制，保證運行平穩(wěn)，定位可靠
6）： 采用國際知名電氣元件
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