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【設(shè)備特點】

□ 獨立操控系統(tǒng)，整機防腐；

□ 夾具配備數(shù)字厚度監(jiān)測裝置；

□ 自動控制和智能的裝載/卸載系統(tǒng)；

□ 在線實時磨拋盤溫控及冷卻沖洗；

【設(shè)備參數(shù)】

【技術(shù)應(yīng)用】

適用材料  主要針對碳化硅、氮化鎵、藍寶石、金剛石等硬性材料進行研磨和拋光工藝。

應(yīng)用領(lǐng)域   選擇不同的工位數(shù)量和備件配置，機臺可適應(yīng)研發(fā)及多種規(guī)格量產(chǎn)。

【設(shè)備說明】

○ 填料系統(tǒng)自動控制，滴料速度可調(diào)；

○ 夾具擺幅及速度可精確控制，且擺幅范圍：0－100%；

○ 夾具壓力可調(diào)，可調(diào)范圍可達50kg；

○ 樣品去除厚度可控，去除量精度1μm；

○ 配有獨立真空單元，樣片通過真空吸附固定到夾具上面；

○ 可選配盤溫監(jiān)控功能，監(jiān)測精度1℃；

○ 整機全防腐處理，可通過觸摸屏交互界面設(shè)置工藝參數(shù)，系統(tǒng)可儲存多達200條工藝菜單；

○ 自動化程度高，整機操作便捷，運行穩(wěn)定，維護方便，可靠性強；

○ 可通過配置不同的硬件及耗材，實現(xiàn)多種配置及工藝方案以滿足用戶對不同材料及尺寸等的多種技術(shù)要求；

○ 研磨拋光盤轉(zhuǎn)速可自主設(shè)定，轉(zhuǎn)速范圍為0-200rpm；

○ 工作時間可自主設(shè)定，連續(xù)運轉(zhuǎn)時間可達10個小時；

○ 可獨立顯示并指示實際工作時長，在完成既定工藝程序后自動關(guān)機。

【系列型號】