金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
-最高溫度：
-額定溫度：
400℃~1286℃非金屬電熱元件：
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擴散爐應用于半導體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)M行擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，可用于4-8英寸工藝尺寸。
控制系統(tǒng)特點
◎ 工藝曲線的自動運行控制功能
◎ 可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運行調(diào)用功能
◎ 系統(tǒng)故障自診功能
◎ 停電后斷點繼續(xù)運行功能等等
◎ 具有自主知識產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng),良好的人機界面
◎ 具有多點溫度補償
◎ 具有多種故障報警及各種安全互鎖保護功能
★支持SECS/GEM通訊
★該系統(tǒng)可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應的功能
主要技術(shù)指標
◎ 晶圓尺寸:4~8英寸
◎ 工藝管數(shù):1~4管/臺
◎ 工作溫度范圍:400℃~1286℃
◎ 恒溫區(qū)長度:300~1500mm
◎ 單點溫度穩(wěn)定性:+0.5℃/24h
◎ **可控升溫速度:15℃/min
◎ **降溫速度:5℃/min
★可為用戶量身定制非標準產(chǎn)品
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