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石墨制品-電子半導(dǎo)體
石墨制品-電子半導(dǎo)體

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型號

石墨制品-電子半導(dǎo)體

品牌

石金科技

產(chǎn)地

廣東

樣本

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深圳市石金科技股份有限公司

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在半導(dǎo)體工業(yè)中,高純石墨主要是作為加熱系統(tǒng)、保溫罩、電極等存在,采用高純石墨做這些部件也是充分利用了高純石墨耐高溫這一特點。高純石墨的耐腐蝕、抗氧化、導(dǎo)電導(dǎo)熱的優(yōu)點應(yīng)用到了半導(dǎo)體工業(yè)中,使工件使用壽命更長、更加減磨省電。我司采用德國半導(dǎo)體等級石墨材料,精密制作離子注入用石墨耗材,提供標(biāo)準(zhǔn)件及客制化規(guī)格。

高純度石墨根據(jù)均勻細(xì)顆粒的特性可作為低原子序數(shù)材料,對離子、等離子具有較強的抗轟擊能力,很強的抗腐蝕性,純度高沒有金屬離子不會對半導(dǎo)體產(chǎn)生污染,金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會造成高的損耗,故這時應(yīng)用相應(yīng)的石墨件來作屏蔽罩。用于等離子cvd用部件 等離子vcd用感受器、電極室、噴嘴、內(nèi)襯、濺射用電極、movcd感受器等。


產(chǎn)品細(xì)節(jié)

  

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