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1. 參數(shù)：
- 尺寸：石墨舟的尺寸根據具體應用場景和需求而定，常見的長度在幾十厘米到數(shù)米不等，寬度和高度一般也在幾厘米到幾十厘米的范圍。例如在光伏行業(yè)中，用于承載硅片的石墨舟會根據硅片的尺寸和生產設備的要求進行設計，可能長度在 1 米左右，寬度和高度在 20 - 30 厘米左右。
- 密度：一般在 1.6 - 2.2 克/立方厘米左右，密度的大小會影響石墨舟的重量和強度等性能。
- 電阻率：通常較低，這使得石墨舟具有良好的導電性能，一般在 (8 - 13)×10?? Ω?m 之間，能夠滿足在一些需要導電的工藝中的使用要求。
- 熱膨脹系數(shù)：相對較小，與硅片的熱膨脹系數(shù)相近，這一點對于在高溫環(huán)境下使用非常重要，可以避免因熱膨脹差異導致的結構變形或對所承載的材料造成損傷。
- 固定碳含量：較高的固定碳含量能保證石墨舟的純度和性能，一般固定碳含量在 99%以上。
- 耐溫性能：具有優(yōu)異的耐高溫性能，**可在 2000℃以上的高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作，能夠滿足大多數(shù)高溫工藝的需求。
  
2. 應用場景：
- 半導體行業(yè)：在半導體制造過程中，用于承載晶圓進行各種高溫處理、化學氣相沉積等工藝。例如在芯片制造的外延生長、刻蝕等環(huán)節(jié)，石墨舟可以作為晶圓的載體，確保工藝的順利進行。
- 太陽能光伏行業(yè)：是光伏電池生產中的關鍵設備之一，用于承載硅片進行等離子增強化學氣相沉積（PECVD）等鍍膜工藝，在硅片表面沉積氮化硅等薄膜，提高太陽能電池的光電轉換效率。
- 化工行業(yè)：可用于一些化學反應裝置中，作為催化劑或反應物的載體，由于其化學穩(wěn)定性好、耐高溫，能夠在復雜的化學環(huán)境下保持穩(wěn)定。
- 鋰電池行業(yè)：用于制造電極材料等，在鋰電池的生產過程中，石墨舟可以作為電極材料的承載工具，參與到電極材料的制備過程中。
  
3. 優(yōu)勢：
- 良好的導電性：電阻率低，能夠在高溫環(huán)境下穩(wěn)定地傳導電流，確保在一些需要通電或產生等離子體的工藝中正常工作，有利于提高生產效率和產品質量。
- 耐高溫性能優(yōu)異：能夠在高溫環(huán)境下長時間使用而不發(fā)生變形或損壞，可適應各種高溫工藝的要求，減少了因高溫導致的設備故障和更換頻率。
- 化學穩(wěn)定性高：不易與大多數(shù)化學物質發(fā)生反應，在各種化學環(huán)境下都能保持穩(wěn)定的性能，避免了對所承載的材料或參與的化學反應產生干擾。
- 熱膨脹系數(shù)?。号c所承載的材料（如硅片等）的熱膨脹系數(shù)相近，在加熱和冷卻過程中，能夠減少因熱膨脹差異導致的應力和變形，保證了工藝的精度和產品的質量。
- 結構強度高：具有較高的結構強度，不易變形或損壞，能夠保證在長期使用過程中對所承載的材料提供穩(wěn)定的支撐。
  
4. 使用方法：
- 使用前檢查：
- 外觀檢查，查看石墨舟是否有裂紋、破損、變形等問題，如有可能會影響其使用性能和壽命，應及時更換。
- 清潔檢查，確保石墨舟表面干凈，沒有灰塵、油污、雜質等，這些物質可能會在高溫下對石墨舟或所承載的材料產生不良影響。
- 安裝與固定：
- 根據生產設備的要求，將石墨舟正確地安裝到相應的位置，并確保安裝牢固。例如在光伏電池生產設備中，要將石墨舟準確地安裝到 PECVD 設備的反應腔室內。
- 對于一些需要與其他部件配合使用的石墨舟，要保證連接部位的緊密性和準確性，避免出現(xiàn)漏氣、漏電等問題。
- 使用過程中的注意事項：
- 溫度控制，根據工藝要求，合理控制石墨舟所處環(huán)境的溫度和升溫、降溫速度。避免溫度過高或過快的溫度變化對石墨舟和所承載的材料造成損傷。
- 氣氛控制，在一些需要特定氣氛環(huán)境的工藝中（如氮氣保護等），要確保氣氛的純度和流量符合要求，以保證工藝的順利進行和產品的質量。
- 操作規(guī)范，嚴格按照生產設備的操作規(guī)程進行操作，避免因操作不當導致石墨舟的損壞或生產事故的發(fā)生。
- 使用后的維護與保養(yǎng)：
- 清潔處理，使用后及時對石墨舟進行清潔，去除表面的污垢和殘留物質。可以使用適當?shù)那逑磩┖凸ぞ哌M行清洗，但要注意避免對石墨舟造成損傷。
- 儲存保管，將清潔后的石墨舟存放在干燥、通風、無腐蝕性氣體的環(huán)境中，避免受潮、受腐蝕。同時，要避免石墨舟受到擠壓、碰撞等外力損傷。