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對應(yīng)手機玻璃蓋板、SiC等進(jìn)行研磨減薄
特點
· 具有針對不同研磨對象/加工時間/粗糙度相匹配的設(shè)計自由度。
· 固定研磨顆粒方式的優(yōu)點。
· 針對低粗糙度基板、實現(xiàn)高研磨效率。
· 具有高研磨率與低加工后粗糙度
· 因為長壽命,可以有效降低研磨墊交換頻度。
用途
基板(玻璃、微晶玻璃、石英玻璃、藍(lán)寶石)、IC功率器件(Si、SiC)的研磨減薄。
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