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20-30萬元型號
FT-3110品牌
ROOKO產(chǎn)地
浙江寧波樣本
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功能介紹Function Introduction
四點探針法、全自動化運行測量系統(tǒng)
PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理、ASTM方法
自動正/負(fù)電流輸出，自動正/負(fù)電壓測量
測量電阻率、方塊電阻、厚度
可調(diào)探針壓力、測試點數(shù)、多種模式
顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值
提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件、數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析
適用范圍Scope of application
晶圓、非晶硅/微晶硅和半導(dǎo)體襯底電阻率測量；選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片；
表面鈍化片；交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片；新型電極設(shè)計，如電鍍銅電阻測量等；
規(guī)格型號 | FT-3110A | FT-3110B（可擴(kuò)展） |
1.方塊電阻 | 10^-5～2×10^5Ω/□ | 10^-6～2×10^5Ω/□ |
2.電阻率 | 10^-6～2×10^6Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm |
3.測試電流 | 0.1μA;1μA;10μA，100μA，1mA， 10mA，100mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
4.電阻精度 | ≤0.3%（標(biāo)準(zhǔn)電阻） | |
5.PC軟件操作 | PC軟件界面：電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報表生成等 | |
6.壓力范圍 | 探針壓力可調(diào)范圍：100-500g | |
7.探針 | 鎢鋼材質(zhì)，探針間距1mm；機(jī)械游移率：≤0.3%；其他規(guī)格可定制 | |
8.載臺類型及尺寸選購 | 選購1:圓形載臺晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 選購2：方片載臺尺寸：153mm*153mm范圍內(nèi)定制規(guī)格 | |
9.分析模式 | 單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試 | |
10.重復(fù)性 | 單點重復(fù)性：重復(fù)性≤0.5% | |
11.防護(hù)功能 | 具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報 | |
12.電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W | |
半導(dǎo)體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏等.
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2020-03-05
2020-03-05
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