中國(guó)粉體網(wǎng)訊  日前，在主題為“支撐納米制造的計(jì)量技術(shù)和傳遞標(biāo)準(zhǔn)”的第281期上海東方科技論壇上，李同保、金國(guó)藩、蔣莊德、莊松林、劉明等院士與專家建議，我國(guó)須加強(qiáng)探索并發(fā)展基于新原理、新方法和新技術(shù)的納米計(jì)量?jī)x器和納米傳遞標(biāo)準(zhǔn)，獨(dú)立自主地構(gòu)建我國(guó)納米計(jì)量體系，對(duì)我國(guó)數(shù)十萬(wàn)臺(tái)納米測(cè)量?jī)x器進(jìn)行校準(zhǔn)和溯源，提升我國(guó)納米制造的技術(shù)能力，為我國(guó)成為制造業(yè)強(qiáng)國(guó)提供計(jì)量支撐。


自改革開放以來(lái)，中國(guó)的制造業(yè)規(guī)模和制造技術(shù)水平都有了顯著的發(fā)展和提高。著眼未來(lái)，中國(guó)要從經(jīng)濟(jì)大國(guó)邁向經(jīng)濟(jì)強(qiáng)國(guó)，首先要成為制造業(yè)強(qiáng)國(guó)。世界各國(guó)都在加強(qiáng)對(duì)制造技術(shù)的研究，力求在世界科技經(jīng)濟(jì)格局中處于領(lǐng)先地位，如德國(guó)的工業(yè)4.0，美國(guó)的“制造業(yè)復(fù)興”和我國(guó)的“中國(guó)制造2025”等。


本次論壇執(zhí)行主席、同濟(jì)大學(xué)教授李同保表示，制造領(lǐng)域幾乎所有的創(chuàng)新和技術(shù)進(jìn)步都離不開納米科技，納米科技已成為國(guó)防戰(zhàn)略和新興產(chǎn)業(yè)的制高點(diǎn)，對(duì)國(guó)家安全和國(guó)民經(jīng)濟(jì)建設(shè)具有重大作用。


中科院院士、中科院微電子研究所研究員劉明等認(rèn)為，隨著器件的特征尺寸進(jìn)入納米量級(jí)（1 納米~100 納米），加工制造過(guò)程中的不確定性顯著增加，加工誤差對(duì)器件性能的影響也越來(lái)越大。納米計(jì)量不僅是測(cè)量和表征納米尺度器件的基礎(chǔ)，同時(shí)在納米加工工藝控制和質(zhì)量管理領(lǐng)域也扮演重要角色，它是微電子、微機(jī)械、超精密加工、納米醫(yī)學(xué)、納米生物學(xué)等領(lǐng)域中不可回避的關(guān)鍵科學(xué)與技術(shù)問(wèn)題。


國(guó)際上對(duì)納米計(jì)量技術(shù)的研究主要集中在計(jì)量型納米精度檢測(cè)技術(shù)和納米尺度傳遞標(biāo)準(zhǔn)兩方面。納米計(jì)量像一把“尺子”，可以為具有納米精度的儀器裝置和實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行校準(zhǔn)，測(cè)量結(jié)果可溯源于國(guó)際單位制，準(zhǔn)確性和可靠性大幅度提高。


中國(guó)已成為世界納米科技大國(guó)，構(gòu)建了龐大的納米制造研發(fā)和生產(chǎn)體系，擁有SEM、AFM等納米測(cè)量?jī)x器數(shù)十萬(wàn)臺(tái)。但是納米計(jì)量技術(shù)、測(cè)試儀器和傳遞標(biāo)準(zhǔn)卻相對(duì)較少，這嚴(yán)重制約了我國(guó)納米制造技術(shù)和相關(guān)行業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展。對(duì)此，西安交通大學(xué)教授蔣莊德表示：“作為‘中國(guó)制造2025’的基礎(chǔ)與核心技術(shù)，計(jì)量測(cè)試與傳感技術(shù)的發(fā)展面臨新的挑戰(zhàn)和機(jī)遇。”