中國粉體網(wǎng)訊  近日，河南黃河旋風（600172）股份有限公司碳化硅切割專用金剛線鋸研發(fā)取得突破，經(jīng)多家客戶使用，其產(chǎn)品性能已完全達到甚至超過日本同類產(chǎn)品水平，不論在切割效率、切割質(zhì)量還是切割穩(wěn)定性，均全面優(yōu)于現(xiàn)有砂漿切割水平。

近年來，以氮化鎵、碳化硅為代表的第三代半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，國家高度重視，企業(yè)積極布局，整個行業(yè)呈現(xiàn)爆發(fā)式的增長勢頭。碳化硅材料作為第三代半導體之一，具有優(yōu)異的性能，同時也具有難加工的特點，其超高的硬脆性特點導致加工難度大、風險高、效率低、良品率不高，尤以切割為難點。目前市場上主要以金剛石砂漿切割為主，切割速度慢，效率低，砂漿利用率低，成本居高不下，砂漿用微粉供應已達極限，固結(jié)金剛線替代砂漿切割已成必然趨勢。

目前市場上能夠穩(wěn)定供應的碳化硅切割線僅有日本某企業(yè)，在美日等國對我國芯片行業(yè)打壓的大背景下，碳化硅切割金剛線的國產(chǎn)化就特別迫切。然而碳化硅晶圓價值高，要求切割低風險、高質(zhì)量，對金剛線的質(zhì)量要求就極為嚴苛。

黃河旋風作為超硬材料龍頭企業(yè)，充分發(fā)揮全產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋的優(yōu)勢，多部門協(xié)同研發(fā)，利用其從日本住友引進吸收的金剛線設(shè)備和技術(shù)，深入開展金剛石線鋸對碳化硅的切割機理研究，重點對切割中金剛石的失效機理進行深入挖掘，適配了專用金剛石及微粉，確保了該產(chǎn)品優(yōu)異的切割能力以及材料、產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。

黃河旋風碳化硅切割專用金剛線線徑均勻、線絲圓度好、磨料分布均勻、出刃高。

在6英寸絕緣型及導電型碳化硅晶體的切割過程中，線弓小、無斷線，切割后晶面平整無線紋，切割用線量介于500-800m/片。

經(jīng)多家客戶的切割使用驗證，切割后線徑磨損均勻，均取得穩(wěn)定的切割數(shù)據(jù)，且可獲得同等于砂漿切割的晶片質(zhì)量，可大幅提升切割效率降低生產(chǎn)成本。

　　附 表

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川）

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