中國粉體網(wǎng)訊  6月26日，蘇州市科學技術局官網(wǎng)發(fā)布了關于2024年度蘇州市面向全球“揭榜掛帥”關鍵核心技術攻關需求的公示。其中，高純合成石英制備關鍵技術入選！

技術需求名稱:高純度合成石英制備關鍵技術

（一）任務內(nèi)容

高純度合成石英玻璃是高精度光學儀器的關鍵材料，高精度光學儀器對石英材料指標要求極高。本項目通過研究和開發(fā)石英玻璃高均勻控制技術、超低應力控制

技術、超低金屬雜質含量控制技術、缺陷控制技術和滲氫技術，實現(xiàn)高純度合成石英材料開發(fā)。

（二）關鍵考核指標

(1)石英玻璃光學均勻性:≤1ppm;

(2)石英玻璃內(nèi)透過率:193nm透過率≥99.5%;

(3)石英玻璃應力雙折射:≤1nm/cm;

(4)石英玻璃條紋(3D):無可見條紋;

(5)石英玻璃雜質總含量:≤10ppb;

(6)氫分子含量:>1x10¹⁶/cm³。

石英玻璃是應用日益廣泛的高新技術材料。石英玻璃的成分為二氧化硅，具有透光性高、耐溫性好、膨脹系數(shù)低等優(yōu)越的物化性質，因此被廣泛應用于半導體、光伏、光學、光纖和軍工等高新技術領域。

據(jù)了解，合成石英玻璃是先制備高純SiCl₄，用SiCl4制成高純二氧化硅粉，再用二氧化硅粉制造合成石英玻璃。自然界中水晶礦石的SiO₂含量最高,一般為99.99%，其中含有金屬雜質總量為50-100ppm，經(jīng)過物理化學提純后，SiO₂最高含量為99.999%，由于礦石中的微量包裹體，導致Al含量比較高，總金屬雜質含量在10~30ppm，仍不能滿足特殊產(chǎn)品的要求，比如光纖預制棒、集成電路中光刻工序的掩膜片等高科技行業(yè)，均要求SiO2的金屬含量<1ppm，因而需要開展合成SiO₂的研究和生產(chǎn)，以滿足高科技產(chǎn)業(yè)的需求。

參考來源：

[1]周全等，石英砂提純及石英玻璃加工工藝的研究

[2]蘇州市人民政府；蘇州市科學技術局；中國粉體網(wǎng)

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/九思）

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