中國粉體網(wǎng)訊  7月4日，山東省陶瓷協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會在淄博召開標(biāo)準(zhǔn)審查會，由山東硅元新型材料股份有限公司牽頭制定的《光刻機(jī)用氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)通過專家審定。

本次標(biāo)準(zhǔn)審查專家組由5人組成，涵蓋行業(yè)協(xié)會、科研機(jī)構(gòu)、高校和先進(jìn)陶瓷生產(chǎn)企業(yè)，會議首先聽取了標(biāo)準(zhǔn)起草單位的匯報(bào)，專家組對標(biāo)準(zhǔn)文本及技術(shù)內(nèi)容進(jìn)行了嚴(yán)格審查，并對部分內(nèi)容提出了修改意見建議，專家組認(rèn)為該標(biāo)準(zhǔn)制定程序規(guī)范、技術(shù)指標(biāo)先進(jìn)、試驗(yàn)數(shù)據(jù)可靠，一致同意通過審定，編制單位根據(jù)專家意見修改完善后形成報(bào)批稿。

在半導(dǎo)體制程中，光刻機(jī)負(fù)責(zé)將設(shè)計(jì)好的電路圖從掩膜版轉(zhuǎn)印到晶圓表面的光刻膠上，通過曝光、顯影將目標(biāo)圖形印刻到特定材料上。芯片在生產(chǎn)中需要進(jìn)行20-30次的光刻，先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的芯片制造需要60-90步光刻工藝，耗時占到IC生產(chǎn)環(huán)節(jié)的50%左右，占芯片生產(chǎn)成本的1/3。因此，光刻機(jī)則成為了前道工序九大設(shè)備之首，在芯片生產(chǎn)線總投資的占比約為20%。

光刻機(jī)對精度有極高的要求，其中移動平臺是光刻機(jī)的重要系統(tǒng)，對光刻機(jī)的運(yùn)行精度影響甚大，這就需要有效抵抗移動平臺在掃描過程中由于高速移動而產(chǎn)生的變形。另外，光刻機(jī)在加工芯片時會產(chǎn)生大量的熱，尺寸大小會發(fā)生明顯的改變。因此，平臺材料應(yīng)具有較高比剛度的低熱膨脹材料，還要保證較高的導(dǎo)熱性能。

于是，導(dǎo)軌作為移動平臺的的關(guān)鍵部件，選材很關(guān)鍵。

氧化鋁陶瓷部件具有高硬度、高機(jī)械強(qiáng)度、超耐磨性、耐高溫、電阻率大、電絕緣性能好、導(dǎo)熱性能好等優(yōu)異性能，是光刻機(jī)導(dǎo)軌用關(guān)鍵材料。

近年來，圍繞半導(dǎo)體設(shè)備用精密陶瓷部件“卡脖子”問題，硅元新材料利用多年來在先進(jìn)陶瓷領(lǐng)域積累的技術(shù)優(yōu)勢進(jìn)行關(guān)鍵技術(shù)研究，開發(fā)了用于刻蝕、減薄、研磨、拋光、熱處理等半導(dǎo)體制造加工制程中所需的系列高精密陶瓷部件，替代同類進(jìn)口產(chǎn)品。

光刻機(jī)用氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌方面，硅元新材料在2014年組建項(xiàng)目組，聯(lián)合國內(nèi)相關(guān)科研機(jī)構(gòu)、企業(yè)開展深入合作，研制出可用作光刻機(jī)用陶瓷導(dǎo)軌99氧化鋁系列陶瓷材料和碳化硅陶瓷材料，生產(chǎn)出可替代國外同類產(chǎn)品的光刻機(jī)用氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌系列產(chǎn)品，有效解決了我國精密陶瓷制造產(chǎn)業(yè)中存在的“卡脖子”關(guān)鍵問題，顯著提升了我國光刻機(jī)制造業(yè)和芯片制造產(chǎn)業(yè)的整體競爭力。

氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌在內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備用精密陶瓷已成為制約我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵一環(huán)，其中相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的缺失成為該領(lǐng)域的短板之一，此次《光刻機(jī)用氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌》的制定無疑將對我國半導(dǎo)體設(shè)備用精密陶瓷行業(yè)的發(fā)展帶來積極的引導(dǎo)與促進(jìn)作用。

參考來源：山東省陶瓷協(xié)會、中國粉體網(wǎng)

（中國粉體網(wǎng)/山川）

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