中國粉體網(wǎng)訊  近日，滁州市人民政府發(fā)布了關(guān)于《滁州歐美克新材料科技有限公司先進(jìn)氮化硅陶瓷材料產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》。

電子電器工業(yè)的高速集成化促使半導(dǎo)體元器件朝著小型化、大電壓、大電流、高功率密度的方向發(fā)展，這對(duì)元器件的組裝和封裝材料，特別是提供電絕緣和散熱功能的脆性陶瓷基板提出了很大的挑戰(zhàn)。常用的陶瓷基板材料有BeO、Al2O3以及AlN。其中，BeO粉末含有劇毒，而Al2O3陶瓷基板熱導(dǎo)率較低（<30 W/（m·K）），AlN熱導(dǎo)率雖然可達(dá)到270 W/（m·K）以上，抗彎強(qiáng)度卻小于400 MPa，以上缺陷制約了三者在尖端半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用。

氮化硅（Si3N4）作為一種難得的兼具高本征熱導(dǎo)率（~320 W/（m·K））和優(yōu)異力學(xué)性能的結(jié)構(gòu)陶瓷材料，常溫下非常穩(wěn)定。通過調(diào)節(jié)燒結(jié)助劑的成分比例，可獲得幾倍于AlN抗彎強(qiáng)度（>800 MPa）的氮化硅陶瓷。潛在的高熱導(dǎo)和優(yōu)異的力學(xué)性能表現(xiàn)使氮化硅被視為當(dāng)今時(shí)代最熱門的半導(dǎo)體陶瓷基板封裝材料。

高性能氮化硅陶瓷目前廣泛應(yīng)用于機(jī)械、航天航空等各領(lǐng)域。在此背景下，滁州歐美克新材料科技有限公司擬投資20000萬元，環(huán)保投資133萬元，建設(shè)先進(jìn)氮化硅陶瓷材料產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。

據(jù)了解，在2025年5月份，該公司公開了“一種基于氮化硅陶瓷軸承球的制備工藝及制備系統(tǒng)”的發(fā)明，涉及氮化硅陶瓷軸承球技術(shù)領(lǐng)域，包括以下步驟：S1，原料混合：采用濕法球磨對(duì)高純度氮化硅粉末、燒結(jié)助劑以及增韌劑進(jìn)行混合以得到混合料A；S2，干壓成型：對(duì)混合料A進(jìn)行擠壓成型，以使得混合料A形成素坯；S3，氣壓燒結(jié)：在氮?dú)鈿夥障�，將素坯快速升溫�?800℃，保溫15‑35min，再降溫至1600℃后保溫8小時(shí)以上，以抑制晶粒生長，獲得細(xì)晶結(jié)構(gòu)。本發(fā)明可以有效提升氮化硅陶瓷軸承球內(nèi)部的密度分布，通過密度均勻以使得氮化硅陶瓷軸承球在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)更加穩(wěn)定，減少了不平衡現(xiàn)象，極大的提升軸承在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)的穩(wěn)定性。

項(xiàng)目主要建設(shè)1棟生產(chǎn)車間，包括生產(chǎn)區(qū)、辦公區(qū)、原料區(qū)、產(chǎn)品庫等公用輔助設(shè)施。擬建項(xiàng)目建設(shè)完成后，可年生產(chǎn)氮化硅陶瓷軸承球100噸、結(jié)構(gòu)件50噸、基板20萬片。

參考來源：

1.國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局、滁州市人民政府

2.朱允瑞等，高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板影響因素研究現(xiàn)狀

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山林）

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