隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體材料的革新速度也進(jìn)一步加快。當(dāng)前，碳化硅作為第三代半導(dǎo)體材料的典型代表，在新能源汽車、光伏、儲能等新興領(lǐng)域正快速滲透，已成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的前沿和制高點。同時，我國“十四五”規(guī)劃已將碳化硅半導(dǎo)體納入重點支持領(lǐng)域，碳化硅半導(dǎo)體將在我國5G基站建設(shè)、特高壓、城際高速鐵路和城市軌道交通、新能源汽車充電樁、大數(shù)據(jù)中心等新基建領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。

近年來，我國在SiC材料領(lǐng)域取得了顯著進(jìn)展，但與國際先進(jìn)水平相比，在晶體生長技術(shù)、晶圓加工技術(shù)等方面仍存在一定差距。SiC晶體生長過程中面臨著晶體缺陷控制、生長速率提升、晶體質(zhì)量穩(wěn)定性等難題；晶圓加工方面，則存在加工精度不足、良品率低、加工成本較高等挑戰(zhàn)。在當(dāng)前倡導(dǎo)節(jié)能減排的大趨勢下，快速穩(wěn)定地突破碳化硅單晶尺寸和質(zhì)量等關(guān)鍵問題，才能夠更好地占據(jù)未來碳化硅市場。

在此背景下，中國粉體網(wǎng)將于2025年8月21日在江蘇·蘇州舉辦第三代半導(dǎo)體SiC晶體生長及晶圓加工技術(shù)研討會，大會將匯聚國內(nèi)行業(yè)專家、學(xué)者、技術(shù)人員、企業(yè)界代表圍繞晶體生長工藝、關(guān)鍵原材料、生長設(shè)備及應(yīng)用、碳化硅晶片切、磨、拋技術(shù)等方面展開演講交流。沈陽恒進(jìn)真空科技有限公司作為參展單位邀請您共同出席。

沈陽恒進(jìn)真空科技有限公司是專業(yè)從事真空設(shè)備研發(fā)及制造的科技型股份制企業(yè)。多年來恒進(jìn)真空研制了溫度從100℃到 2200℃、裝料方式從臥式水平裝取到大型立式底部裝取的各種爐型，形成了雄厚的技術(shù)積累。被評為99年國家重點新產(chǎn)品，同時申請并獲得了多項技術(shù)專利。

自成立以來，恒進(jìn)真空生產(chǎn)制造的高真空燒結(jié)爐、高壓氣淬爐、高真空釬焊爐、高真空退火爐、真空回火設(shè)備、真空氮化設(shè)備、真空晶化設(shè)備、真空快淬設(shè)備、真空儲藏柜、真空操作箱、真空干燥器等各類真空設(shè)備已 達(dá)1000 多臺，產(chǎn)品遍及國內(nèi)20多個省，廣泛應(yīng)用在材料、IT產(chǎn)業(yè)、冶金、機(jī)械等領(lǐng)域。目前恒進(jìn)真空已在山西、浙江地區(qū)設(shè)立了客戶服務(wù)中心，至今已擁有 300多名客戶，其中不乏一些知名企業(yè)，如：北京鋼鐵研究總院、北京大學(xué)、中科院高能物理研究所、中科院沈陽金屬研究所、中科院長春光機(jī)所、中科三環(huán)、寧 波韻升、安泰科技、太原剛玉，并且已有部分產(chǎn)品出口到韓國、泰國、越南。

恒進(jìn)真空一貫堅持“值得信賴”為企業(yè)的文化理念和發(fā)展基石，力爭把恒進(jìn)辦成讓客戶信賴、讓員工信賴、讓股東信賴、造福社會的企業(yè)常青樹。

客戶對恒進(jìn)的信賴來源于企業(yè)的優(yōu)良產(chǎn)品與服務(wù)，是客戶對恒進(jìn)長期誠信經(jīng)營的回報；

員工與企業(yè)之間相互信賴，企業(yè)為員工提供發(fā)揮聰明才智的空間，讓員工對企業(yè)未來與自己未來充滿信心，進(jìn)而提升員工的忠誠度；

股東對恒進(jìn)的信賴是恒進(jìn)獲得長足發(fā)展的基礎(chǔ)。

恒進(jìn)真空堅信“值得信賴”并“富有社會責(zé)任感”是企業(yè)贏得社會各界支持和可持續(xù)發(fā)展的保障。

恒進(jìn)真誠地希望：廣大客戶對恒進(jìn)做更深層次的了解，熱情盛邀貴方光臨我公司訪問指導(dǎo)。恒進(jìn)真空愿將企業(yè)的科技進(jìn)步成果和企業(yè)文化與廣大客戶共享。

產(chǎn)品介紹

1、真空熱壓爐

性能特點

1.節(jié)能性高 ：保溫材料采用低導(dǎo)熱系數(shù)優(yōu)質(zhì)保溫棉，節(jié)能效果明顯。

高效換熱器，在大風(fēng)量換氣條件下箱內(nèi)仍有較好的溫度均勻度和波動度。 工作過程中工作室內(nèi)揮發(fā)氣體始終處于低濃度，使絕緣漆中溶劑蒸發(fā)速度加快，縮短了干燥時間，節(jié)能效果明顯。

2. 安全系數(shù)高 ：精選國內(nèi)外名牌電器元件，控制系統(tǒng)安全可靠，溫控系統(tǒng)靈敏。 設(shè)超溫報警保護(hù)系統(tǒng)，箱內(nèi)溫度異常時切斷加熱電源并發(fā)出聲光報警。 低表面負(fù)荷、低表面溫度的加熱器，消除了引發(fā)燃燒或爆炸的最主要危險源。 超壓保護(hù)系統(tǒng)，當(dāng)風(fēng)壓異常時（即排氣不正常時），會發(fā)出聲光報警并切斷電源，確保安全。 全程大風(fēng)量換氣方式，使箱內(nèi)危險氣體濃度始終處于安全范圍以內(nèi)。箱體設(shè)有大面積防爆門，在發(fā)生意外時可使損失降低到最低限度。

3.溫度均勻性好：良好的溫度均勻性全循環(huán)換氣方式和獨特的大風(fēng)量熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，使設(shè)備在整個加熱過程中具有相當(dāng)好的溫度均勻性。

4.控制系統(tǒng)先進(jìn)：選配計算機(jī)集散控制系統(tǒng)、實現(xiàn)一鍵式操作，自動記錄，隨時調(diào)取隨時查詢，方便對產(chǎn)品質(zhì)量經(jīng)行控制監(jiān)督，有紙或無紙溫度記錄儀、絕緣電阻測試儀等。

工作原理

熱風(fēng)烘干箱以蒸汽和電或煤炭為熱媒，利用高效加熱設(shè)備加熱，大量熱風(fēng)在箱內(nèi)進(jìn)行了熱風(fēng)循環(huán)，經(jīng)過不斷新風(fēng)補充從進(jìn)風(fēng)口進(jìn)入箱體，然后不斷從排濕口排出，這樣增加了傳熱效果，使箱內(nèi)物料水份逐漸減少，達(dá)到烘干效果。

2、高溫石墨化爐

用于碳碳復(fù)合材料、石墨軟氈、石墨硬氈的高溫石墨化處理或其他產(chǎn)品的高溫?zé)�結(jié)處理。高溫純化爐是將石墨制品、石墨軟氈、石墨硬氈或SiC粉體等通過高溫焙燒和工藝氣體定向流動，經(jīng)過物理擴(kuò)散、化學(xué)反應(yīng)使雜質(zhì)元素從基體中排出，形成灰分含量低（5ppmw）、金屬含量降到PPB數(shù)量級，從而達(dá)到半導(dǎo)體晶體生長對石墨品質(zhì)（或粉體原料）要求的工藝過程。

采用恒進(jìn)專屬超高溫、大電流引電技術(shù)，能在2400℃條件下長時間穩(wěn)定使用。

3、單室真空燒結(jié)爐

單室真空燒結(jié)爐的設(shè)備用途、特點：

該設(shè)備用于各種合金材料、器件、釹鐵硼磁性材料、釤鈷磁性材料、儲氫合金、活性與難熔金屬的真空燒結(jié)、時效等處理。該設(shè)備是在消化吸收國外設(shè)備優(yōu)點的基礎(chǔ)上，歷經(jīng)多次改進(jìn)和完善，采用獨特的內(nèi)（外）部氣流循環(huán)方式和較大的真空機(jī)組，具有冷卻均勻、速度快、爐溫均勻性好、大抽氣量、溫度均勻可控、高真空度和無滲漏等特點。冷卻方式分為內(nèi)循環(huán)(RVSX)和外循環(huán)(RVS)兩種方式。

控制系統(tǒng)由PLC控制動作，智能溫控儀控制溫度，控制準(zhǔn)確，自動化程度高，可實現(xiàn)全自動/手動無擾動切換及異常報警功能，操作簡單可靠。

主要技術(shù)指標(biāo)：

會務(wù)組

聯(lián)系人：段經(jīng)理

電話：13810445572

郵箱：duanwanwan@cnpowder.com

識別二維碼了解更多會議信息