中國(guó)粉體網(wǎng)訊  近日，浙江省經(jīng)濟(jì)和信息化廳正式發(fā)布《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2025年版）》，目錄中涉及高純石英砂、高純石英材料、大硅片半導(dǎo)體級(jí)合成石英坩堝等材料及相關(guān)性能要求。

高純石英砂

性能要求：SiO²純度≥99.999%，15種雜質(zhì)元素的含量總和≤10ppm，Li/Na/K雜質(zhì)元素含量總和≤1ppm，面積≥0.1cm²的包裹體平均數(shù)量≤2個(gè)/cm²。

應(yīng)用領(lǐng)域：光伏、半導(dǎo)體、光纖通信、航空航天領(lǐng)域。

高純石英砂憑借耐高溫、耐腐蝕、高強(qiáng)度、高透光率、低熱膨脹系數(shù)等卓越性能，成為半導(dǎo)體、光纖通信、光伏、光學(xué)、電光源等領(lǐng)域不可或缺的關(guān)鍵材料，更是新一代信息產(chǎn)業(yè)、新能源等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的“基石”。

高純石英材料

性能要求：結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，精密機(jī)械加工后尺寸精度可達(dá)±0.002，熱加工處理后，應(yīng)力可以3°以下，材料純度含量達(dá)到99.999%，材料表面不允許有任何有色異物。

應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路制造。

在集成電路制造中，石英法蘭、石英坩堝、石英爐管、石英舟架、石英鐘罩等高純石英制品是難以替代的關(guān)鍵部件，廣泛用于半導(dǎo)體晶圓制造的擴(kuò)散、氧化、光刻、刻蝕、清洗等主要流程。

大硅片半導(dǎo)體級(jí)合成石英坩堝

性能要求：規(guī)格32英寸，內(nèi)表面各雜質(zhì)含量≤0.1ppm，透明層微氣泡≤1個(gè)/mm²，外徑公差±1mm，厚度公差±0.75mm。

應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體領(lǐng)域單晶硅棒生產(chǎn)。

石英坩堝作為石英玻璃制品的細(xì)分品類，雖看似普通，卻是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“剛需品”。大硅片半導(dǎo)體級(jí)合成石英坩堝具備潔凈、同質(zhì)、耐高溫等特性，是拉制單晶硅、制作單晶硅片及發(fā)展大規(guī)模集成電路不可或缺的“載體容器”，主要用于裝放多晶硅原料或單晶回收料。

為何要聚焦“大尺寸”？這背后藏著產(chǎn)業(yè)降本增效的邏輯：硅片尺寸越大，單片硅片上可制造的芯片數(shù)量就越多，單位芯片成本隨之降低；同時(shí)，圓形硅片制造矩形芯片時(shí)，邊緣會(huì)存在無(wú)法利用的區(qū)域，硅片尺寸越大，邊緣浪費(fèi)占比越小，進(jìn)一步提升材料利用率。

參考來(lái)源：

浙江省經(jīng)濟(jì)和信息化廳；中國(guó)粉體網(wǎng)

左政等.石英部件在半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用及市場(chǎng)概覽

(中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/九思)

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