中國(guó)粉體網(wǎng)訊  近日，滁州市人民政府發(fā)布了關(guān)于《安徽珂瑪材料技術(shù)有限公司半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅材料及部件項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》受理公示。

來(lái)源：中新蘇滁高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)官網(wǎng)

文件顯示，安徽珂瑪科技將在滁州市中新蘇滁高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)蘇滁現(xiàn)代工業(yè)坊陸號(hào)廠房進(jìn)行擴(kuò)建，項(xiàng)目建成后可年產(chǎn)290噸機(jī)械設(shè)備換熱防腐部件和10噸半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅陶瓷部件，目前，年產(chǎn)180噸機(jī)械設(shè)備換熱防腐部件和8噸半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅陶瓷部件生產(chǎn)裝置已建成，已通過(guò)自主驗(yàn)收并完成排污許可登記。由于6號(hào)廠房空間限制，剩余110噸機(jī)械設(shè)備換熱防腐部件和2噸半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅陶瓷部件生產(chǎn)線不再建設(shè)。

碳化硅憑借其優(yōu)異的高溫力學(xué)強(qiáng)度、高硬度、高彈性模量、高耐磨性、高導(dǎo)熱性、耐腐蝕性等性能，成為用途最廣的陶瓷材料之一。尤其是在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域，裝備制造是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心組成部分，在某種意義上裝備的先進(jìn)程度可以代表整個(gè)國(guó)家的工業(yè)發(fā)展水平。精密陶瓷作為不可或缺的零部件材料，已經(jīng)被引入到各種半導(dǎo)體裝備之中，碳化硅陶瓷即是其中的代表，尤其是在光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等最頂尖的設(shè)備中，碳化硅陶瓷部件被大量使用。

近年來(lái)隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展和國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程的推進(jìn)，展現(xiàn)出廣闊的發(fā)展前景。在此背景下，為滿足不斷擴(kuò)大的市場(chǎng)需求，公司擬投資6542.42萬(wàn)元建設(shè)“半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅材料及部件項(xiàng)目”。本次擴(kuò)建調(diào)漿工藝增加真空攪拌設(shè)備，使?jié){料調(diào)配得更加均勻，可進(jìn)一步提高產(chǎn)品質(zhì)量，其余工藝與現(xiàn)有相同，新增半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅陶瓷部件11000件/年（約8噸/年）。

據(jù)悉，安徽珂瑪材料技術(shù)有限公司是蘇州珂瑪材料科技股份有限公司的子公司，成立于2022年11月，主要從事碳化硅晶舟、碳化硅爐管等高精密陶瓷部件以及各種專業(yè)設(shè)備的設(shè)計(jì)制造。

近些年，珂瑪科技掌握了從材料配方到零部件制造的先進(jìn)陶瓷全工藝流程技術(shù)，目前已量產(chǎn)氧化鋁、氧化鋯、氮化鋁、碳化硅、氧化釔和氧化鈦6大類先進(jìn)陶瓷材料，累計(jì)設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)了一萬(wàn)余款定制化零部件。

2025年上半年，珂瑪科技半導(dǎo)體領(lǐng)域結(jié)構(gòu)件產(chǎn)品銷售收入比去年同期增長(zhǎng)66.06%。其中靜電卡盤與超高純碳化硅套件也逐步量產(chǎn)，并在上半年形成了一定的收入。其超高純碳化硅套件產(chǎn)品純度高達(dá)99.99%，缺陷密度控制在每平方厘米不超過(guò)1個(gè)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。

在碳化硅零部件的產(chǎn)業(yè)布局上，7月22日，珂瑪科技擬以1.02億元現(xiàn)金收購(gòu)蘇州鎧欣73%的股權(quán)。蘇州鎧欣在CVD碳化硅陶瓷零部件領(lǐng)域技術(shù)深厚，其產(chǎn)品已在Si外延、SiC外延、GaN外延等多個(gè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)規(guī)模化應(yīng)用，碳化硅刻蝕環(huán)、碳化硅噴淋頭、12英寸Si外延用碳化硅涂層石墨基座等先進(jìn)產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)也取得了良好進(jìn)展。

同時(shí)，珂瑪科技位于江蘇蘇州的先進(jìn)材料生產(chǎn)基地已正式投產(chǎn)，重點(diǎn)布局陶瓷加熱器、靜電卡盤及超高純碳化硅套件等“結(jié)構(gòu)-功能”一體化模塊產(chǎn)品。

此次擴(kuò)建項(xiàng)目將進(jìn)一步提升安徽珂瑪在半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅陶瓷部件領(lǐng)域的生產(chǎn)能力，滿足市場(chǎng)對(duì)高精密陶瓷部件的不斷增長(zhǎng)需求，推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

來(lái)源：中新蘇滁高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)官網(wǎng)、珂瑪科技公告、粉體網(wǎng)

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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