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馬爾文帕納科
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馬爾文帕納科
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Wafer XRD用于全自動晶圓揀選、生產(chǎn)和質量控制
特點
適用于3到8寸晶圓。也可根據(jù)要求提供其他尺寸
FOUP、載具或單個晶圓臺
跨槽晶圓識別為可選功能
易于集成到任何工藝生產(chǎn)線中
測量速度：每個樣品＜10秒
典型標準偏差（傾斜度）：例如Si 100＜0.003°
MES和SECS/GEM接口
銅靶微焦點風冷X射線光管（**30W）或細焦點水冷X射線光管（**1.5kW）
完全符合CE標準的安全控制裝置
通過3色燈塔指示狀
材料
Si、SiC、GaAs、GaN、藍寶石（Al?O?）、Ge、AIN、石英、InP和100s等。
可選插件
電阻率測量范圍：0.01至0.020Ωcm
自動識別晶圓數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼、條形碼或類似代碼
未拋光晶圓和鏡面的距離測量
年產(chǎn)1,000,000片晶圓
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企業(yè)名稱
馬爾文帕納科企業(yè)類型
有限責任公司(外國法人獨資)信用代碼
310000400417821法人代表
SIMONPAULEAGLE注冊地址
上海市閔行區(qū)元山路88弄9號成立日期
2005-03-22注冊資本
200萬(美元)有效期限
2005-03-22 至 2035-03-21
經(jīng)營范圍
一般項目：實驗分析儀器制造；儀器儀表制造；智能儀器儀表制造；專用設備制造（不含許可類專業(yè)設備制造）；虛擬現(xiàn)實設備制造；氣體、液體分離及純凈設備制造；工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置制造；專用儀器制造；儀器儀表修理；環(huán)境監(jiān)測專用儀器儀表制造；通用設備制造（不含特種設備制造）；其他通用儀器制造；專用設備修理；機械零件、零部件加工；機械設備租賃；特種設備銷售；軟件開發(fā)；軟件銷售；機械零件、零部件銷售；環(huán)境監(jiān)測專用儀器儀表銷售；氣體、液體分離及純凈設備銷售；實驗分析儀器銷售；工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置銷售；電子產(chǎn)品銷售；機械設備銷售；技術服務、技術開發(fā)、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣；標準化服務；銷售代理；國內貿易代理；儀器儀表銷售；商務代理代辦服務；信息系統(tǒng)集成服務；智能儀器儀表銷售；企業(yè)管理；企業(yè)管理咨詢；信息技術咨詢服務；租賃服務（不含許可類租賃服務）；工業(yè)酶制劑研發(fā)；計量技術服務；數(shù)據(jù)處理和存儲支持服務；貨物進出口；技術進出口；進出口代理；企業(yè)總部管理。（除依法須經(jīng)批準的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動） 許可項目：危險化學品經(jīng)營；特種設備安裝改造修理；特種設備制造；Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、Ⅴ類放射源銷售。（依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動，具體經(jīng)營項目以相關部門批準文件或許可證件為準
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